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1. (WO2011108424) 基板収納容器
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/108424    国際出願番号:    PCT/JP2011/054068
国際公開日: 09.09.2011 国際出願日: 24.02.2011
IPC:
H01L 21/673 (2006.01), B65D 85/86 (2006.01)
出願人: SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD. [JP/JP]; 1-9, Kanda-Sudacho, Chiyoda-ku, Tokyo 1010041 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OGAWA Osamu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OGAWA Osamu; (JP)
代理人: FUJIMOTO Eisuke; c/o Fujimoto Patent & Law Office, KA111 Building 5F, 1-1, Kandaawaji-cho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010063 (JP)
優先権情報:
2010-047477 04.03.2010 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) CONTENEUR DE STOCKAGE DE SUBSTRATS
(JA) 基板収納容器
要約: front page image
(EN)A substrate storage container configured so that a conveyance unit is more easily mounted to a mounting mechanism of the container body, the conveyance unit is less likely to come off the mounting mechanism, and liquid such as cleaning water is less likely to remain in the mounting mechanism and the conveyance unit. A substrate storage container is configured in such a manner that a mounting mechanism (20) is provided to the ceiling (2) of the container body (1) for storing semiconductor wafers, and that a robotic flange (31), which serves as a conveyance unit (30), is removably mounted to the mounting mechanism (20). The mounting mechanism (20) is provided with pairs of support rails (21) which are provided to the ceiling (2) at positions corresponding to each other, guide sections (23) which are provided to the ceiling (2), and interference and engagement sections (24) which are formed on each of the guide sections (23). Each of the guide section (23) and each of the interference and engagement sections (24) are combined so that the front ends thereof form a bifurcated section (25). The conveyance unit (30) is provided with unit bodies (32) supported between the pairs of support rails (21). Flow holes (36) for fluid are formed in the unit bodies (32). The unit bodies (32) incorporate elastically deformable engagement sections (35) which interfere with the bifurcated sections (25).
(FR)L'invention concerne un conteneur de stockage de substrats configuré de manière à ce qu'une unité de transport soit montée plus facilement sur un mécanisme de montage du corps de conteneur, à ce que l'unité de transport ait moins tendance à se détacher du mécanisme de montage et à ce que du liquide tel que l'eau de nettoyage ait moins tendance à rester dans le mécanisme de montage et dans l'unité de transport. Un conteneur de stockage de substrats est configuré de telle manière qu'un mécanisme de montage (20) est implanté sur le dessus (2) du corps de conteneur (1) afin de stocker des tranches de semi-conducteur et à ce qu'une bride robotisée (31), qui sert d'unité de transport (30), soit montée de manière amovible sur le mécanisme de montage (20). Le mécanisme de montage (20) possède des paires de rails de support (21) qui sont montées sur le dessus (2) dans des positions qui se correspondent, des sections de guidage (23) qui sont montées sur le dessus (2) et des sections d'interférence et de mise en prise (24) qui sont formées sur chacune des sections de guidage (23). Chacune des sections de guidage (23) et chacune des sections d'interférence et de mise en prise (24) forment des combinaisons où les extrémités frontales forment une section de bifurcation (25). L'unité de transport (30) possède des corps d'unités (32) supportés par les paires de rails de support (21). Des trous d'écoulement (36) de fluide sont formés dans les corps d'unités (32). Les corps d'unités (32) comprennent des sections de mise en prise déformables élastiquement (35) qui interfèrent avec les sections de bifurcation (25).
(JA) 容器本体の取付機構に対する搬送部品の取付作業の作業性を向上させ、取付機構から搬送部品が外れ易くなるおそれを排除し、取付機構や搬送部品に洗浄水等の液体が残存するのを抑制できる基板収納容器を提供する。 半導体ウェーハ収納用の容器本体1の天井2に取付機構20を設け、取付機構20に搬送部品30であるロボティックフランジ31を着脱自在に装着する基板収納容器であり、取付機構20は、天井2に対設される複数対の支持レール21と、天井2に設けられる複数のガイド片23と、各ガイド片23に形成される干渉係合部24とを備え、ガイド片23と干渉係合部24を組み合わせてその前部を二股部25に形成する。また、搬送部品30は、複数対の支持レール21間に支持される部品本体32を備え、部品本体32に、流体用の流通口36を穿孔するとともに、二股部25に干渉する弾性変形可能な弾性係合片35を内蔵する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)