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1. (WO2011108410) 無声放電プラズマ装置および無声放電プラズマ発生方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/108410    国際出願番号:    PCT/JP2011/053925
国際公開日: 09.09.2011 国際出願日: 23.02.2011
IPC:
H05H 1/24 (2006.01), B01J 19/08 (2006.01), C01B 13/11 (2006.01), H01S 3/038 (2006.01)
出願人: Mitsubishi Electric Corporation [JP/JP]; 7-3,Marunouchi 2-chome,Chiyoda-ku, Tokyo 1008310 (JP) (米国を除く全ての指定国).
WADA Noboru [--/JP]; (JP) (米国のみ).
TANIMURA Yasuhiro [--/JP]; (JP) (米国のみ).
KUZUMOTO Masaki [--/JP]; (JP) (米国のみ).
CHIKAISHI Masahiro [--/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: WADA Noboru; (JP).
TANIMURA Yasuhiro; (JP).
KUZUMOTO Masaki; (JP).
CHIKAISHI Masahiro; (JP)
代理人: OIWA Masuo; 35-8, Minamimukonoso 3-chome, Amagasaki-shi, Hyogo 6610033 (JP)
優先権情報:
2010-045217 02.03.2010 JP
発明の名称: (EN) SILENT DISCHARGE PLASMA DEVICE AND METHOD FOR GENERATING PLASMA BY SILENT DISCHARGE
(FR) DISPOSITIF PLASMA À DÉCHARGE SILENCIEUSE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN PLASMA PAR DÉCHARGE SILENCIEUSE
(JA) 無声放電プラズマ装置および無声放電プラズマ発生方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is a highly efficient silent discharge plasma device which does not require an additive gas. Specifically disclosed is a silent discharge plasma device, which comprises two electrodes that are arranged so as to face each other and at least one dielectric body that is arranged between the electrodes, and which causes an electric discharge of a gas by supplying the gas between the electrodes and applying an alternating current voltage between the electrodes, thereby generating plasma. At least one of the surfaces of the electrodes or the dielectric body, said surfaces being in contact with the electric discharge, is provided with a semiconductive discharge boundary layer that is obtained by dispersing fine noble metal particles in an oxide in such an amount that the weight ratio of the fine noble metal particles to the oxide is 0.05-10 wt% (inclusive).
(FR)L'invention concerne un dispositif plasma à décharge silencieuse extrêmement efficace qui ne nécessite pas un gaz supplémentaire. Plus spécifiquement, l'invention concerne un dispositif plasma à décharge silencieuse qui comprend deux électrodes qui sont disposées face à face, au moins un corps diélectrique étant placé entre les électrodes, et qui provoque une décharge électrique dans un gaz par alimentation du gaz entre les électrodes et application d'une tension alternative entre les électrodes, ce qui produit un plasma. Au moins une des surfaces des électrodes, ou encore le corps diélectrique, lesdites surfaces étant en contact avec la décharge électrique, porte une couche semi-conductrice de limite de décharge qui est obtenue en dispersant de fines particules d'un métal noble dans un oxyde, dans une quantité telle que le rapport de masse entre les fines particules de métal noble et l'oxyde soit de 0,05 à 10 % en masse (valeurs comprises).
(JA) 高効率かつ添加ガスを要しない無声放電プラズマ装置を提供する。 対向して配置される2つの電極と、電極間に少なくとも1つの誘電体を備え、電極間にガスを供給するとともに交流電圧を印加することによりガスを放電させてプラズマを発生させる無声放電プラズマ装置において、電極または誘電体の放電に接する面の少なくとも1面に、酸化物中に、この酸化物に対し重量比で0.05wt%以上10wt%以下となるように貴金属微粒子が分散された半導電性の放電境界層を設けた。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)