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1. (WO2011108368) 走査電子顕微鏡及びそれを用いた検査方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/108368    国際出願番号:    PCT/JP2011/053440
国際公開日: 09.09.2011 国際出願日: 18.02.2011
IPC:
H01J 37/28 (2006.01), H01J 37/153 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SOHDA Yasunari [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OHASHI Takeyoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SHIRAHATA Kaori [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HITOMI Keiichiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SOHDA Yasunari; (JP).
OHASHI Takeyoshi; (JP).
SHIRAHATA Kaori; (JP).
HITOMI Keiichiro; (JP)
代理人: POLAIRE I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032 (JP)
優先権情報:
2010-045509 02.03.2010 JP
発明の名称: (EN) SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND INSPECTION METHOD USING SAME
(FR) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE ET SON PROCÉDÉ D'INSPECTION
(JA) 走査電子顕微鏡及びそれを用いた検査方法
要約: front page image
(EN)Provided is a high-resolution scanning electron microscope with minimal aberration, and equipped with an electro-optical configuration that can form a tilted beam having wide-angle polarization and a desired angle, without interfering with an electromagnetic lens. Also provided is a measurement method using the same. In the scanning electron microscope, an electromagnetic deflection device (201) is disposed above an electromagnetic lens (207), and a control electrode (202) that accelerates or decelerates electrons is provided so as to overlap (in such a manner that the height positions overlap with respect to the vertical direction) with the electromagnetic deflection device (201). In wide field polarization, electrodes are accelerated, and in tilted beam formation, electrons are decelerated.
(FR)La présente invention concerne un microscope électronique à balayage à haute résolution avec aberration minime, et équipé d'une configuration électro-optique qui peut former un faisceau incliné présentant une polarisation à grand angle et un angle souhaité, sans interférer avec une lentille électromagnétique. La présente invention concerne également un procédé de mesure utilisant ledit microscope. Dans le microscope électronique à balayage, un dispositif de déflexion électromagnétique (201) est disposé au-dessus d'une lentille électromagnétique (207), et une électrode de commande (202) qui accélère ou décélère les électrons est fournie de manière à se chevaucher (d'une manière telle que les positions de hauteur se chevauchent par rapport à la direction verticale) avec le dispositif de déflexion électromagnétique (201). Dans une polarisation à grand champ, les électrons sont accélérés et dans une formation à faisceau incliné, les électrons sont décélérés.
(JA) 電磁レンズと干渉することなく広視野偏向や所望の角度を有する傾斜ビーム形成を可能とする電子光学構成を備えた収差が少なく高解像の走査電子顕微鏡及びそれを用いた計測方法を提供するために、走査電子顕微鏡において、電磁レンズ207の上部に電磁偏向器201を設け、それと重なるように(鉛直方向に対して高さ位置が重なるように)電子を加速若しくは減速する制御電極202を設ける。広視野偏向では電子を加速し、傾斜ビーム形成では電子を減速する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)