WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2011105129) 酸化銅用エッチング液及びそれを用いたエッチング方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/105129    国際出願番号:    PCT/JP2011/050549
国際公開日: 01.09.2011 国際出願日: 14.01.2011
IPC:
C09K 13/06 (2006.01), G03F 7/004 (2006.01), G03F 7/32 (2006.01)
出願人: ASAHI KASEI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 3-23, Nakanoshima 3-Chome, Kita-ku Osaka-shi, Osaka 5308205 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAKAGAWA, Norikiyo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKATA, Takuto [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MITAMURA, Yoshimichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAKAGAWA, Norikiyo; (JP).
NAKATA, Takuto; (JP).
MITAMURA, Yoshimichi; (JP)
代理人: AOKI, Hiroyoshi; 7F, Nibancho Cashew Bldg., 4-3, Niban-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 1020084 (JP)
優先権情報:
2010-039693 25.02.2010 JP
2010-040122 25.02.2010 JP
2010-154855 07.07.2010 JP
2010-282267 17.12.2010 JP
発明の名称: (EN) COPPER OXIDE ETCHANT AND ETCHING METHOD USING SAME
(FR) AGENT DE GRAVURE POUR OXYDE DE CUIVRE ET PROCÉDÉ DE GRAVURE L'UTILISANT
(JA) 酸化銅用エッチング液及びそれを用いたエッチング方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is a copper oxide etchant, which, when using a copper oxide as a thermal reaction resist material and exposed with a laser, is capable of selectively etching exposed/unexposed areas; also disclosed is an etching method using the same. The disclosed copper oxide etchant selectively etches copper oxides of different oxidation numbers in a copper oxide-containing layer having a copper oxide as the main component, and is characterized by containing at least a chelating agent or a salt thereof.
(FR)L'invention concerne un agent de gravure pour oxyde de cuivre, qui lors de l'utilisation d'un oxyde de cuivre comme matériau de réserve de réaction thermique, et de l'exposition à un laser, est capable de graver de manière sélective des surfaces exposées/non exposées ; l'invention concerne également un procédé de gravure l'utilisant. L'agent de gravure pour oxyde de cuivre selon l'invention grave de manière sélective des oxydes de cuivre de différents nombres d'oxydation dans une couche contenant de l'oxyde de cuivre ayant un oxyde de cuivre comme composant principal, et est caractérisé par le fait qu'il contient au moins un agent chélatant ou son sel.
(JA) 熱反応型レジスト材料として銅の酸化物を用いてレーザー光で露光した場合に、露光・未露光部を選択的にエッチングすることのできる酸化銅用エッチング液及びそれを用いたエッチング方法を提供すること。本発明の酸化銅用エッチング液は、銅の酸化物を主成分とする酸化銅含有層において酸化数の異なる酸化銅を選択的にエッチングするための酸化銅用エッチング液であって、少なくともキレート剤、又はその塩を含むことを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)