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1. (WO2011104865) 組立て式密閉チャンバ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/104865    国際出願番号:    PCT/JP2010/053092
国際公開日: 01.09.2011 国際出願日: 26.02.2010
IPC:
F16J 15/10 (2006.01), B01J 3/00 (2006.01), F16J 12/00 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
出願人: IRIE KOKEN CO.,LTD. [JP/JP]; 1-1,Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YOSHIDA Hidehiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKAGAWA Masaharu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YABE Manabu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YOSHIDA Hidehiko; (JP).
NAKAGAWA Masaharu; (JP).
YABE Manabu; (JP)
代理人: KAYAHARA, Yuji; 722, Renai Gyoen Plaza, 24-7, Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) KNOCKDOWN-TYPE HERMETICALLY SEALED CHAMBER
(FR) CHAMBRE FERMÉE HERMÉTIQUEMENT DE TYPE ASSEMBLABLE
(JA) 組立て式密閉チャンバ
要約: front page image
(EN)Disclosed is a hermetically sealed chamber, which has a seal member easily attached thereto, and at the same time, has a reduced number of members required at the time of attaching the seal member, and which can be easily carried. The chamber is composed of the top plate (3) and the bottom plate (3), which have a rectangular shape, a pair of side plates (1, 1), a pair of side plates (2), respectively, having exhaust ports, and a skeleton seal member (4). In the state where the skeleton seal member (4) is fitted in the seal grooves (D11-D14) in the side plates (1), and in the seal grooves (D21, D22) in the side plates (2) having exhaust ports, between the side plates (1) and the side plates (2) adjacent to the side plates (1), between the top plate (3) and the side plate frame, and between the bottom plate (3) and the side plate frame are fastened by screwing bolts (B) into screw holes provided in each of the side plates (1) and the side plates (2).
(FR)L'invention concerne une chambre fermée hermétiquement qui comprend un élément d'étanchéité pouvant être fixé facilement sur celle-ci, qui comprend en même temps un nombre réduit d'éléments requis au moment de la fixation de l'élément d'étanchéité, et qui peut être transportée facilement. La chambre est composée de la plaque supérieure (3) et de la plaque inférieure (3), qui présentent une forme rectangulaire, d'une paire de plaques latérales (1, 1), d'une paire de plaques latérales (2), comprenant respectivement des orifices d'évacuation, et d'un élément d'étanchéité formant une charpente (4). Dans l'état dans lequel l'élément d'étanchéité formant une charpente (4) est ajusté dans les rainures d'étanchéité (D11-D14) dans les plaques latérales (1), et dans les rainures d'étanchéité (D21, D22) dans les plaques latérales (2) comprenant des orifices d'évacuation, entre les plaques latérales (1) et les plaques latérales (2) adjacentes aux plaques latérales (1), entre la plaque supérieure (3) et la structure de la plaque latérale, et entre la plaque inférieure (3) et la structure de plaque latérale, la fixation est assurée par le vissage de boulons (B) dans des trous de vis disposés dans chacune des plaques latérales (1) et des plaques latérales (2).
(JA)【課題】密閉チャンバにおいて、シール部材の取り付けの容易化を可能とし、同時に、シール部材を取り付ける際の部材の削減を図り、持ち運びが容易に出来るようにする。 【解決手段】四角形からなる上板(3)及び底板(3)と、一対の側面板(1、1)及び一対の排気口付き側面板(2)と、スケルトンシール部材(4)からなり、スケルトンシール部材(4)を側面板(1)のシール溝(D11~D14)及び排気口付き側面板(2)のシール溝(D21、D22)に嵌挿させた状態で、隣接する側面板(1)と排気口付き側面板(2)との間、上板(3)及び底板(3)と側板枠との間を各側面板(1)及び排気口付き側面板(2)に設けられたネジ穴にボルト(B)をねじ込むことによりボルト締結される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)