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1. (WO2011104806) ステージ装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/104806    国際出願番号:    PCT/JP2010/052681
国際公開日: 01.09.2011 国際出願日: 23.02.2010
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), F16C 32/06 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
出願人: ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 32-1, Asahi-cho 1-chome, Nerima-ku, Tokyo 1790071 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OAE, Yoshihisa [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SHIMIZU, Youichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OAE, Yoshihisa; (JP).
SHIMIZU, Youichi; (JP)
代理人: OKAMOTO, Keizo; OKAMOTO PATENT OFFICE Yamanishi Bldg., 4F, 11-7, Nihonbashi Ningyo-cho 3-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030013 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) STAGE DEVICE
(FR) DISPOSITIF À PLATINE
(JA) ステージ装置
要約: front page image
(EN)Disclosed is a stage device which has no risk of air ductwork rupturing due to bending accompanying the movement of the stage. The stage device, which is used in a vacuum, has: a gas supply unit that generates a gas; a base member that has the four surfaces of a top, bottom, left, and right surface; a slider that has surfaces facing each surface of the base member and that forms a frame shape disposed movably enclosing the base member; and an air bearing that supplies gas between the base member and the slider, causing the slider to float. The slider has an air chamber that stores air and that is on a surface facing the base member, and the inside of the base member is provided with a slider movement air duct that is for supplying gas between an inlet that causes the gas generated by the gas supply unit to flow in and an outlet for supplying the gas to the air chamber of the slider.
(FR)L'invention concerne un dispositif à platine qui ne présente pas de risque de rupture des conduites d'air à cause d'une flexion accompagnant le mouvement de la platine. Le dispositif à platine, qui est utilisé dans le vide, possède : une unité d'alimentation en gaz qui produit un gaz ; un élément de base qui possède quatre surfaces, supérieure, inférieure, gauche et droite ; un coulisseau qui possède des surfaces faisant face à chaque surface de l'élément de base et qui constitue une forme de cadre mobile entourant l'élément de base ; et un palier pneumatique qui fournit du gaz entre l'élément de base et le coulisseau, si bien que le coulisseau flotte. Le coulisseau possède une chambre à air qui stocke de l'air et qui se situe sur une surface faisant face à l'élément de base et l'intérieur de l'élément de base comprend une conduite d'air commandant le mouvement du coulisseau, destinée à fournir du gaz entre une entrée qui permet au gaz produit par l'unité d'alimentation en gaz d'entrer et une sortie destinée à fournir le gaz à la chambre à air du coulisseau.
(JA)【課題】ステージ移動に伴うエア配管の屈曲による破断のおそれのないステージ装置を提供すること。 【解決手段】真空内で使用されるステージ装置は、気体を発生させる気体供給部と、上下左右の4面を有するベース部材と、ベース部材の各面と対向する面を有してベース部材を囲んで移動可能に配置される枠状に形成されたスライダと、ベース部材とスライダとの間に気体を供給してスライダを浮上させるエアベアリングと、を有する。スライダは、ベース部材と対向する面にエアを蓄える空気室を有し、ベース部材の内部に、気体供給部で発生された気体を流入させる流入口とスライダの空気室に気体を供給するための流出口との間で気体を供給するためのスライダ移動用エア流通路を備えている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)