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1. (WO2011104801) 電子顕微鏡、および試料ホルダ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/104801    国際出願番号:    PCT/JP2010/006996
国際公開日: 01.09.2011 国際出願日: 01.12.2010
IPC:
H01J 37/20 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YAGUCHI, Toshie [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAGAKUBO, Yasuhira [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
WATABE, Akira [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YAGUCHI, Toshie; (JP).
NAGAKUBO, Yasuhira; (JP).
WATABE, Akira; (JP)
代理人: INOUE, Manabu; c/o HITACHI,LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
優先権情報:
2010-038105 24.02.2010 JP
発明の名称: (EN) ELECTRON MICROSCOPE AND SAMPLE HOLDER
(FR) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE ET PORTE-ÉCHANTILLON
(JA) 電子顕微鏡、および試料ホルダ
要約: front page image
(EN)Disclosed is a sample-retaining device for an electron microscope that can observe reactions between a sample and a gas. In the disclosed sample-retaining means for an electron microscope, barrier films are arranged above and below a sample, forming a cell that isolates a gas atmosphere and a sample chamber vacuum and seals the atmosphere around the sample. A gas supply means that supplies a gas into the cell and an evacuation means that performs evacuation are also provided. The evacuation means comprises a gas evacuation tube, provided inside the cell, and an openable/closeable evacuation hole, provided on a side wall of the sample-retaining means so as to go through the cell. The barrier films are amorphous films comprising light elements such as carbon, oxygen, and nitrogen, through which an electron beam can pass.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de retenue d'échantillon pour un microscope électronique qui peut observer des réactions entre un échantillon et un gaz. Dans le moyen de retenue d'échantillon pour un microscope électronique décrit, des films barrières sont agencés au-dessus et en dessous d'un échantillon, formant une cellule qui isole une atmosphère gazeuse et un vide de chambre d'échantillon et qui ferme de façon étanche l'atmosphère autour de l'échantillon. Un moyen d'alimentation en gaz qui fournit un gaz dans la cellule et un moyen d'évacuation qui réalise une évacuation sont également prévus. Le moyen d'évacuation comprend un tube d'évacuation de gaz, prévu à l'intérieur de la cellule, et un trou d'évacuation qui peut être ouvert/fermé, prévu sur une paroi latérale du moyen de retenue d'échantillon afin de passer à travers la cellule. Les films barrières sont des films amorphes qui comprennent des éléments légers tels que du carbone, de l'oxygène, et de l'azote, à travers lesquels un faisceau d'électrons peut passer.
(JA) 本発明の目的は、試料とガスの反応が観察可能な電子線装置用試料保持装置を提供することにある。 上記の課題の一つを解決するため、本発明では、電子線装置用試料保持手段に、ガス雰囲気と試料室の真空を隔離,試料周囲の雰囲気を密閉したセルを構成するために、試料の上下に隔膜を配し、さらにセル内にガスを供給するガス供給手段、および排気する排気手段を備え、前記排気手段はセル内に設けたガス排気管と、セルと貫通するように試料保持手段の側壁に設けられた開閉可能な排気孔を設けた。隔膜の材質は電子線が透過可能なカーボン膜,酸化膜,窒化膜などの軽元素で構成される非晶質膜とした。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)