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1. (WO2011102396) 表示装置用Al合金膜
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/102396    国際出願番号:    PCT/JP2011/053300
国際公開日: 25.08.2011 国際出願日: 16.02.2011
IPC:
C23C 14/14 (2006.01), G09F 9/30 (2006.01), H01L 21/28 (2006.01), H01L 21/285 (2006.01), H01L 21/3205 (2006.01), H01L 23/52 (2006.01), H01L 29/786 (2006.01)
出願人: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO [JP/JP]; 10-26, Wakinohama-cho 2-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6518585 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OKUNO Hiroyuki; (米国のみ).
KUGIMIYA Toshihiro; (米国のみ).
GOTO Hiroshi; (米国のみ)
発明者: OKUNO Hiroyuki; .
KUGIMIYA Toshihiro; .
GOTO Hiroshi;
代理人: OGURI Shohei; Eikoh Patent Firm, Toranomon East Bldg. 10F, 7-13, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
優先権情報:
2010-031310 16.02.2010 JP
発明の名称: (EN) AL ALLOY FILM FOR DISPLAY DEVICE
(FR) FILM EN ALLIAGE D'AL POUR DISPOSITIF D'AFFICHAGE
(JA) 表示装置用Al合金膜
要約: front page image
(EN)Disclosed is an Al alloy film for use in a display device, which does not undergo the formation of hillocks even when exposed to high temperatures of about 450 to 600˚C, and has excellent high-temperature heat resistance, low electrical resistance (wiring resistance) and excellent corrosion resistance under alkaline environments. Specifically disclosed is an Al alloy film for use in a display device, which comprises at least one element selected from a group X consisting of Ta, Nb, Re, Zr, W, Mo, V, Hf and Ti and at least one rare earth element, and which meets the following requirement (1) when heated at 450 to 600˚C. (1) Precipitates each having an equivalent circle diameter of 20 nm or more are present at a density of 500,000 particles/mm2 or more in a first precipitation product containing at least one element selected from Al and the elements included in the group X and at least one rare earth element.
(FR)L'invention porte sur un film en alliage d'Al pour utilisation dans un dispositif d'affichage, qui ne subit pas la formation de protubérances même quand il est exposé à des températures élevées d'environ 450 à 600°C, et qui présente une excellente résistance à la chaleur à haute température, une faible résistance électrique (résistance de câblage) et une excellente résistance à la corrosion dans des environnements alcalins. L'invention porte plus précisément sur un film en alliage d'Al pour utilisation dans un dispositif d'affichage, qui comprend au moins un élément choisi dans un groupe X consistant en Ta, Nb, Re, Zr, W, Mo, V, Hf et Ti et au moins un élément des terres rares, et qui satisfait la condition suivante (1) quand il est chauffé à 450 à 600°C. (1) Les précipités, dont chacun a un diamètre de cercle équivalent de 20 nm ou plus, sont présents à une densité de 500 000 particules/mm2 ou plus dans un premier produit de précipitation contenant au moins un élément choisi parmi Al et les éléments inclus dans le groupe X, et au moins un élément des terres rares.
(JA) 450~600℃程度の高温下に曝されてもヒロックが発生せず高温耐熱性に優れており、膜自体の電気抵抗(配線抵抗)も低く、アルカリ環境下の耐食性にも優れた表示装置用Al合金膜を提供する。Ta、Nb、Re、Zr、W、Mo、V、Hf、およびTiよりなるX群から選択される少なくとも一種の元素と、希土類元素の少なくとも一種とを含み、450~600℃の加熱処理を行なったとき、下記(1)の要件を満足する表示装置用Al合金膜である。 (1)Alと、X群から選択される少なくとも一種の元素と、希土類元素の少なくとも一種とを含む第1の析出物について、円相当直径20nm以上の析出物が500,000個/mm以上の密度で存在する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)