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1. (WO2011102239) 光導波路、光集積回路及び光導波路の製造方法

Pub. No.:    WO/2011/102239    International Application No.:    PCT/JP2011/052345
Publication Date: 2011/08/25 International Filing Date: 2011/02/04
IPC: G02B 6/122
G02B 6/13
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
HOSHINO, Satohiko
星野 聡彦
Inventors: HOSHINO, Satohiko
星野 聡彦
Title: 光導波路、光集積回路及び光導波路の製造方法
Abstract:
【課題】光の反射を利用して基板に対して水平な方向のみならず垂直な方向を含む三次元の光伝送が可能な、新規かつ改良された光導波路を提供する。 【解決手段】光導波路200は、基板10上に形成される。光導波路200は、基板10に対して水平方向に光路が形成された第1の光導波路と、第1の光導波路と連通し、基板10に対して斜め方向に光路が形成された第2の光導波路と、第2の光導波路と連通し、第1の光導波路と段違いであって基板10に対して水平方向に光路が形成された第3の光導波路と、を有する。