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1. (WO2011102077) 電界放出電子銃及びその制御方法

Pub. No.:    WO/2011/102077    International Application No.:    PCT/JP2011/000233
Publication Date: 2011/08/25 International Filing Date: 2011/01/19
IPC: H01J 37/073
H01J 37/18
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社 日立ハイテクノロジーズ
CHO, Boklae
趙 福来
KOKUBO, Shigeru
小久保 滋
MURAKOSHI, Hisaya
村越 久弥
NITTA, Hisao
新田 久雄
Inventors: CHO, Boklae
趙 福来
KOKUBO, Shigeru
小久保 滋
MURAKOSHI, Hisaya
村越 久弥
NITTA, Hisao
新田 久雄
Title: 電界放出電子銃及びその制御方法
Abstract:
 W(310)面からの放出電流の減衰の仕方の特徴を用いて、電界放出型電子源をより安定して使う方法の開示を目的とする。本発明では、タングステンの<310>単結晶からなる電界放出電子源(1)と、当該電子源が配置される真空室(2)と、前記真空室を排気する排気系(11)と、前記電子源と接続され、電流を流して前記電子源を加熱するフィラメント(6)と、当該フィラメントに電流を流す電源(7)と、当該電子源から放出される総電流量を測定する電流計(8)と、を備える荷電粒子線装置であって、前記総電流量を定期的に測定し、当該総電流量が、最初の電子線放出直後の前記電子源からの総電流量、または前記フィラメントに電流を流した直後の前記電子線からの総電流量に対して所定の比率以下になったときに、前記電源が前記フィラメントに電流を流すように制御する制御部(4)を備えることを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。