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1. (WO2011099563) 基板処理装置

Pub. No.:    WO/2011/099563    International Application No.:    PCT/JP2011/052879
Publication Date: 2011/08/18 International Filing Date: 2011/02/10
IPC: G03F 9/00
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
SUZUKI Tomonari
鈴木 智也
Inventors: SUZUKI Tomonari
鈴木 智也
Title: 基板処理装置
Abstract:
 基板処理装置は、帯状のシート基板を第一方向に搬送する搬送部と、シート基板のうち、第一方向に交差する第二方向の複数の区間に対して処理をそれぞれ行う複数の処理部と、複数の処理部のそれぞれに対応して設けられ、シート基板を支持するステージ装置とを備える。