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1. (WO2011099466) 焼結体及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/099466    国際出願番号:    PCT/JP2011/052598
国際公開日: 18.08.2011 国際出願日: 08.02.2011
IPC:
C04B 35/50 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
出願人: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. [JP/JP]; 6-28, Rokuban-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 1028465 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ANDO Kazuto [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HAYASHI Shintaro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KUGIMOTO Hirokuni [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ISHIZUKA Masayuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: ANDO Kazuto; (JP).
HAYASHI Shintaro; (JP).
KUGIMOTO Hirokuni; (JP).
ISHIZUKA Masayuki; (JP)
代理人: SHIGA Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
優先権情報:
2010-026817 09.02.2010 JP
2010-149324 30.06.2010 JP
2011-007809 18.01.2011 JP
2011-012861 25.01.2011 JP
発明の名称: (EN) SINTERED OBJECTS AND PROCESSES FOR PRODUCING SAME
(FR) OBJETS FRITTÉS ET PROCÉDÉS POUR PRODUIRE CEUX-CI
(JA) 焼結体及びその製造方法
要約: front page image
(EN)Provided is a sintered object which has excellent resistance to corrosion by corrosive halogen gases and by the plasmas thereof and has excellent thermal conductivity and excellent electrical conductivity. Even when applied to members for use in various vacuum process devices, the sintered object has little limitation in design. The sintered object is usable in a wide range of applications, and is highly versatile. Also provided is a process for producing the sintered object. Furthermore provided is a high-frequency transmission material which has direct-current electrical conductivity for reducing fluctuations in plasma potential and has capacitive properties that enable the material to transmit high-frequency power necessary for plasma excitation, and which has no fear of causing contamination of a sample with a metal and has resistance to corrosion by plasmas. Still further provided are: a sintered object which has excellent resistance to corrosion by corrosive halogen gases and by the plasmas thereof and has no frequency dependence when a high-frequency voltage is applied thereto and with which it is possible to actualize the stability of a plasma; and a process for producing the sintered object.
(FR)La présente invention concerne un objet fritté qui a une excellente résistance à la corrosion par des gaz d'halogène corrosifs et par les plasmas de ceux-ci et a une excellente conductivité thermique et une excellente conductivité électrique. Même lorsqu'il est appliqué à des éléments pour une utilisation dans différents dispositifs de traitement sous vide, l'objet fritté a peu de limitations de conception. L'objet fritté est utilisable dans une large gamme d'applications, et est hautement polyvalent. La présente invention concerne en outre un procédé pour produire l'objet fritté. La présente invention concerne en outre un matériau d'émission à haute fréquence qui a une conductivité électrique de courant continu pour réduire les fluctuations du potentiel de plasma et a des propriétés capacitives qui permettent au matériau de transmettre de l'énergie à fréquence élevée qui est nécessaire pour l'excitation de plasma, et qui ne risque pas de causer la contamination d'un échantillon avec un métal et a une résistance à la corrosion par des plasmas. La présente invention concerne en outre : un objet fritté qui a une excellente résistance à la corrosion par des gaz d'halogène corrosifs et par les plasmas de ceux-ci et n'a pas de dépendance vis-à-vis de la fréquence lorsqu'une tension à fréquence élevée est appliquée à celui-ci et avec lequel il est possible d'actualiser la stabilité d'un plasma ; et un procédé pour produire l'objet fritté.
(JA)本発明により、ハロゲン系腐食性ガス及びこれらのプラズマに対する耐食性及び熱伝導性に優れ、かつ導電性にも優れ、さらには、様々な真空プロセス装置に用いられる部材に適用した場合においても、設計上の制約が少なく、適用範囲も広く、汎用性に優れた焼結体及びその製造方法が提供される。また本発明により、プラズマ電位変動を抑制するべく直流電流に対する導電性、及びプラズマの励起に必要な高周波電力を透過させることができる容量性を有し、試料が金属汚染される虞がなく、かつプラズマ耐食性を有する高周波透過材料が提供される。さらに本発明により、ハロゲン系腐食性ガス及びこれらのプラズマに対する優れた耐食性を有し、高周波印加時に周波数依存性がなく、プラズマの安定性を発現することが可能な焼結体及びその製造方法が提供される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)