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1. (WO2011096331) 研磨用組成物

Pub. No.:    WO/2011/096331    International Application No.:    PCT/JP2011/051701
Publication Date: 2011/08/11 International Filing Date: 2011/01/28
IPC: H01L 21/304
B24B 37/00
C09K 3/14
Applicants: NITTA HAAS INCORPORATED
ニッタ・ハース株式会社
TANAKA Rika
田中 利香
Inventors: TANAKA Rika
田中 利香
Title: 研磨用組成物
Abstract:
【課題】SiOx(0<x≦2)の研磨レートを高くできる研磨用組成物を提供する。 【解決手段】研磨用組成物は、コロイダルシリカと、水溶液中で水素イオンを放出する電解質または電解質の塩からなる添加剤とを含む。電解質は、硫酸、ピロリン酸、およびリン酸等からなり、電解質の塩は、硫酸アンモニウム等からなる。