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1. (WO2011096042) 赤外線撮像素子及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/096042    国際出願番号:    PCT/JP2010/051413
国際公開日: 11.08.2011 国際出願日: 02.02.2010
IPC:
G01J 1/44 (2006.01), H04N 5/33 (2006.01)
出願人: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA [JP/JP]; 1-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058001 (JP) (米国を除く全ての指定国).
FUJIWARA, Ikuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAGI, Hitoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SASAKI, Keita [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: FUJIWARA, Ikuo; (JP).
YAGI, Hitoshi; (JP).
SASAKI, Keita; (JP)
代理人: HYUGAJI, Masahiko; Kannai ST Bldg., 4-1, Onoe-cho 1-chome, Naka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2310015 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) INFRARED RAY IMAGING ELEMENT AND PROCESS FOR PRODUCTION THEREOF
(FR) ÉLÉMENT D'IMAGERIE À RAYON INFRAROUGE ET SON PROCESSUS DE PRODUCTION
(JA) 赤外線撮像素子及びその製造方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is an infrared ray imaging element characterized by comprising: a substrate; a detection unit which comprises an infrared ray absorption section arranged above the substrate, placed apart from the substrate, and capable of absorbing infrared ray and a thermoelectric conversion section arranged between the infrared ray absorption section and the substrate, placed apart from the substrate, thermally connected to the infrared ray absorption section, and capable of converting the change in temperature caused by the infrared ray absorbed by the infrared ray absorption section into an electric signal; a wiring which is arranged above the substrate, placed apart from the substrate, and capable of transmitting the electric signal; a wiring region connection unit which is electrically connected to the wiring and extends from the wiring toward the substrate; and a support beam of which one end is connected to the substrate-side end of the wiring region connection unit, the other end is connected to the thermoelectric conversion section, and a support beam wiring for transmitting the electric signal from the thermoelectric conversion section to the wiring through the wiring region connection unit is formed, and which can support the detection unit above the substrate. The infrared ray imaging element has high sensitivity. Also disclosed is a process for producing the infrared ray imaging element.
(FR)L'invention concerne un élément d'imagerie à rayon infrarouge caractérisé en ce qu'il comprend : un substrat ; une unité de détection comprenant une section d'absorption de rayon infrarouge disposée au-dessus du substrat, située à l'écart du substrat et capable d'absorber un rayon infrarouge, et une section de conversion thermoélectrique disposée entre la section d'absorption de rayon infrarouge et le substrat, située à l'écart du substrat, connectée thermiquement à la section d'absorption de rayon infrarouge, et capable de convertir le changement de température dû au rayon infrarouge absorbé par la section d'absorption de rayon infrarouge en un signal électrique ; un câblage disposé au-dessus du substrat, situé à l'écart du substrat et capable de transmettre le signal électrique ; une unité de connexion de région de câblage connectée électriquement au câblage et s'étendant du câblage vers le substrat ; et un faisceau de support dont une extrémité est connectée à l'extrémité côté substrat de l'unité de connexion de région de câblage tandis que l'autre extrémité est connectée à la section de conversion thermoélectrique, et un câblage de faisceau de support pour transmettre le signal électrique de la section de conversion thermoélectrique au câblage par le biais de l'unité de connexion de région de câblage, et qui peut supporter l'unité de détection au-dessus du substrat. L'élément d'imagerie à rayon infrarouge possède une sensibilité élevée. L'invention concerne également un processus de production de l'élément d'imagerie à rayon infrarouge.
(JA) 基板と、前記基板の上に、前記基板と離間して設けられ、赤外線を吸収する赤外線吸収部と、前記赤外線吸収部と前記基板との間に設けられ、前記基板と離間し、前記赤外線吸収部と熱的に接続され、前記赤外線吸収部で吸収された赤外線による温度変化を電気信号に変換する熱電変換部と、を有する検出部と、前記基板の上に、前記基板と離間して設けられ、前記電気信号を伝達する配線と、前記配線に電気的に接続され、前記配線から前記基板に向けて延在する配線領域接続部と、一端が前記配線領域接続部の前記基板の側の端に接続され、他端が前記熱電変換部に接続され、前記電気信号を前記熱電変換部から前記配線領域接続部を介して前記配線に伝達する支持梁配線を有し、前記検出部を前記基板の上方に支持する支持梁と、を備えたことを特徴とする赤外線撮像素子が提供される。これにより、高感度の赤外線撮像素子及びその製造方法が提供できる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)