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1. (WO2011093316) イオンミリング装置,試料加工方法,加工装置、および試料駆動機構
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/093316    国際出願番号:    PCT/JP2011/051451
国際公開日: 04.08.2011 国際出願日: 26.01.2011
IPC:
H01J 37/30 (2006.01), B23K 15/00 (2006.01), G01N 1/28 (2006.01), H01J 37/20 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAKAJIMA Rie [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KUROSAWA Koichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TAKASU Hisayuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAKAJIMA Rie; (JP).
KUROSAWA Koichi; (JP).
TAKASU Hisayuki; (JP)
代理人: HIRAKI Yusuke; Atago Green Hills MORI Tower 32F, 5-1, Atago 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1056232 (JP)
優先権情報:
2010-016156 28.01.2010 JP
発明の名称: (EN) ION MILLING DEVICE, SAMPLE PROCESSING METHOD, PROCESSING DEVICE, AND SAMPLE DRIVE MECHANISM
(FR) DISPOSITIF DE GRAVURE IONIQUE, PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'ÉCHANTILLON, DISPOSITIF DE TRAITEMENT ET MÉCANISME D'ENTRAÎNEMENT D'ÉCHANTILLON
(JA) イオンミリング装置,試料加工方法,加工装置、および試料駆動機構
要約: front page image
(EN)A technique for processing which does not depend on the material or the angle of incidence of an ion beam is provided. A processing device for processing a sample by directing an ion beam onto the sample, wherein a sample rotating/tilting mechanism for rotating and tilting the sample with respect to the ion beam is provided, the sample rotating/tilting mechanism is provided with a rotation shaft which rotates the sample with respect to the ion beam and is also provided with a tilt shaft which is orthogonal to the rotation shaft and tilts the sample with respect to the ion beam, and rotation and tilting of the sample are performed simultaneously.
(FR)Une technique de traitement qui ne dépend ni du matériau ni de l'angle d'incidence d'un faisceau ionique est décrite. La présente invention a trait à un dispositif de traitement permettant de traiter un échantillon grâce à un faisceau ionique dirigé sur ledit échantillon. Ce dispositif comporte un mécanisme de rotation/d'inclinaison d'échantillon destiné à faire tourner et à incliner l'échantillon par rapport au faisceau ionique, ce mécanisme de rotation/d'inclinaison d'échantillon étant muni d'un arbre de rotation qui fait tourner l'échantillon par rapport au faisceau ionique, ainsi que d'un arbre d'inclinaison qui est perpendiculaire audit arbre de rotation et qui incline l'échantillon par rapport au faisceau ionique, et la rotation et l'inclinaison de l'échantillon sont effectuées simultanément.
(JA) 本発明は、上記の問題点を鑑み、材料やイオンビーム照射角度に依存しない加工をする手法を提供することを目的としている。 上記目的を達成するために、本発明は、イオンビームを試料に照射して試料を加工する加工装置において、前記イオンビームに対し、試料を回転傾斜させる試料傾斜回転機構を備え、当該試料回転機構は、試料をイオンビームに対し回転させる回転軸と、当該回転軸に対して直行し、前記試料をイオンビームに対して傾斜させる傾斜軸を備え、前記試料の回転と傾斜を同時に行うことを特徴とする加工装置を提供する(図2参照)。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)