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1. WO2011074319 - デフォーマブルミラー、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法

公開番号 WO/2011/074319
公開日 23.06.2011
国際出願番号 PCT/JP2010/068247
国際出願日 18.10.2010
IPC
H01L 21/027 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
027その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループH01L21/18またはH01L21/34に分類されないもの
G02B 5/10 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
5レンズ以外の光学要素
08反射鏡
10曲面をもつもの
G02B 26/00 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
26可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
G02B 27/09 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
27他の光学系;他の光学装置
09光束整形,例.断面積の変更,で他に分類されないもの
G02F 1/13 2006.01
G物理学
02光学
F光の強度,色,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲーテイング,変調または復調のための装置または配置の媒体の光学的性質の変化により,光学的作用が変化する装置または配置;そのための技法または手順;周波数変換;非線形光学;光学的論理素子;光学的アナログ/デジタル変換器
1独立の光源から到達する光の強度,色,位相,偏光または方向の制御のための装置または配置,例.スィッチング,ゲーテイングまたは変調;非線形光学
01強度,位相,偏光または色の制御のためのもの
13液晶に基づいたもの,例.単一の液晶表示セル
G03F 7/20 2006.01
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20露光;そのための装置
CPC
G02B 26/0825
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0816by means of one or more reflecting elements
0825the reflecting element being a flexible sheet or membrane, e.g. for varying the focus
G03F 7/70116
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
70Exposure apparatus for microlithography
70058Mask illumination systems
70091Illumination settings, i.e. intensity distribution in the pupil plane, angular distribution in the field plane; On-axis or off-axis settings, e.g. annular, dipole, quadrupole; Partial coherence control, i.e. sigma or numerical aperture [NA]
70116Off-axis setting using a programmable means, e.g. LCD or DMD
出願人
  • 株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 三宅 範夫 MIYAKE Norio [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 三宅 範夫 MIYAKE Norio
代理人
  • 山口 孝雄 YAMAGUCHI Takao
優先権情報
2009-28236714.12.2009JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) DEFORMABLE MIRROR, ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE DEVICE, AND METHOD FOR PRODUCING DEVICE
(FR) MIROIR DÉFORMABLE, SYSTÈME OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, DISPOSITIF D'EXPOSITION, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DU DISPOSITIF
(JA) デフォーマブルミラー、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法
要約
(EN)
A deformable mirror capable of exactly and stably imparting a spatial modulation to an incident light and emitting the same. The deformable mirror, which comprises a deformable reflective film, is provided with a sheet-type driving source member having electric field response properties, first electrodes that are located between one side face of the driving source member and the reflective film, and second electrodes that are located on the other side face of the driving source member in such a manner as to be in one-to-one correspondence with the first electrodes. The sheet-type driving source member contains a polymer material.
(FR)
L'invention concerne un miroir déformable capable d'appliquer de manière exacte et stable une modulation spatiale à une lumière incidente et d'émettre celle-ci. Le miroir déformable, qui comprend une pellicule réfléchissante déformable, comporte un élément de source de commande de type feuille présentant des propriétés de réponse au champ électrique, des premières électrodes qui sont situées entre une face latérale de l'élément de source de commande et la pellicule réfléchissante, et des secondes électrodes qui sont situées sur l'autre face latérale de l'élément de source de commande de telle manière qu'elles soient en correspondance une à une avec les premières électrodes. L'élément de source de commande de type feuille contient un matériau polymère.
(JA)
 入射光に対して空間的な変調を正確に且つ安定的に付与して射出することのできるデフォーマブルミラー。変形可能な反射膜を有するデフォーマブルミラーは、電場応答性を有するシート状の駆動源部材と、駆動源部材の一方の側面と反射膜との間に配置された第1電極群と、駆動源部材の他方の側面に第1電極群と対をなすように配置された第2電極群とを備えている。シート状の駆動源部材は高分子材料を含む。
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