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1. (WO2011049133) 基板支持装置、基板支持部材、基板搬送装置、露光装置、及びデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/049133    国際出願番号:    PCT/JP2010/068499
国際公開日: 28.04.2011 国際出願日: 20.10.2010
IPC:
H01L 21/673 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KAWAE Kunihiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SEKI Tadashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YOKOTA Muneyasu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KOGURE Kiyoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KAWAE Kunihiro; (JP).
SEKI Tadashi; (JP).
YOKOTA Muneyasu; (JP).
KOGURE Kiyoshi; (JP)
代理人: SHIGA Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
優先権情報:
61/272,677 20.10.2009 US
2010-002005 07.01.2010 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE SUPPORTING APPARATUS, SUBSTRATE SUPPORTING MEMBER, SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL SUPPORTANT UN SUBSTRAT, ÉLÉMENT SUPPORTANT UN SUBSTRAT, APPAREIL DE TRANSFERT DE SUBSTRAT, APPAREIL D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
(JA) 基板支持装置、基板支持部材、基板搬送装置、露光装置、及びデバイス製造方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is a substrate supporting apparatus (T) which supports a substrate (P). The substrate supporting apparatus is provided with: a placing section (20) having the substrate placed thereon; and at least one supporting section (TM), which protrudes from the placing section, and supports a part of the substrate placed on the placing section. The supporting section has: a base section (22) fixed to the placing section; and an abutting section (23), which is provided such that the abutting section can move to and from the base section, and which abuts on the substrate placed on the placing section.
(FR)La présente invention concerne un appareil (T) qui supporte un substrat (P). L'appareil supportant un substrat est équipé : d'une section de placement (20) sur laquelle est placé le substrat ; et d'au moins une section de support (TM) qui fait saillie de la section de placement et supporte une partie du substrat placé sur la section de placement. La section de support a : une section de base (22) fixée à la section de placement ; et une section de butée (23) qui est conçue de manière telle qu'elle puisse s'approcher ou s'éloigner de la section de base, et qui bute contre le substrat placé sur la section de placement.
(JA) 基板(P)を支持する基板支持装置(T)であって、基板が載置される載置部(20)と、載置部から突設され、載置部に載置された基板の一部を支持する少なくとも1つの支持部(TM)と、を備え、支持部は、載置部に対して固定される基部(22)と、基部に対して移動可能に設けられ、載置部に載置された基板に当接する当接部(23)と、を有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)