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1. (WO2011049004) 空間光変調器、光学装置、及び露光装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/049004    国際出願番号:    PCT/JP2010/068096
国際公開日: 28.04.2011 国際出願日: 14.10.2010
IPC:
G02B 26/02 (2006.01), G02F 1/01 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OWA Soichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OWA Soichi; (JP)
代理人: OMORI Satoshi; Omori Patent Office, 2075-2-501, Noborito, Tama-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2140014 (JP)
優先権情報:
2009-243927 22.10.2009 JP
発明の名称: (EN) SPATIAL LIGHT MODULATOR, OPTICAL APPARATUS, AND EXPOSURE APPARATUS
(FR) MODULATEUR SPATIAL DE LUMIÈRE, APPAREIL OPTIQUE ET APPAREIL D'EXPOSITION
(JA) 空間光変調器、光学装置、及び露光装置
要約: front page image
(EN)Disclosed is a spatial light modulator (25) which modulates illuminating light. The spatial light modulator is provided with: a plurality of fine divided ring resonators (20X, 20Y), each of which is disposed in each of pixels (5) on the optical path of the illuminating light, and is composed of a conductive body having a width equivalent to or smaller than the wavelength of the illuminating light; and a modulating section (19), which modulates the resonance frequency of the divided ring resonators (20X, 20Y) for each of the pixels (5). The spatial light modulator (25) can be used as a ultraviolet transmissive modulator, and has a high response speed.
(FR)L'invention porte sur un modulateur spatial de lumière (25), qui module une lumière d'éclairage. Le modulateur spatial de lumière comporte : une pluralité de résonateurs en anneau finement divisés (20X, 20Y), dont chacun est disposé dans chacun parmi des pixels (5) sur le trajet optique de la lumière d'éclairage, et est constitué d'un corps conducteur ayant une largeur équivalente à celle de la longueur d'onde de la lumière d'éclairage ou inférieure à celle-ci; et une section de modulation (19), qui module la fréquence de résonance des résonateurs en anneau divisés (20X, 20Y) pour chacun des pixels (5). Le modulateur spatial de lumière (25) peut être utilisé comme modulateur transmettant les ultraviolets, et a une vitesse de réponse élevée.
(JA) 照明光を変調する空間光変調器(25)は、その照明光の光路上の複数の画素(5)内にそれぞれ配置され、その照明光の波長と同じ程度か又はこれより小さい幅を有する導電体よりなる複数の微小な分割リング共振器(20X,20Y)と、複数の画素(5)毎に、複数の分割リング共振器(20X,20Y)の共振周波数を変調する変調部(19)とを備える。空間光変調器(25)は、紫外光に対して透過型として使用可能であり、かつ応答速度が速い。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)