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1. (WO2011048961) 真空処理装置、グラフ表示方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/048961    国際出願番号:    PCT/JP2010/067719
国際公開日: 28.04.2011 国際出願日: 08.10.2010
IPC:
H01L 21/02 (2006.01), C23C 14/54 (2006.01), G05B 19/418 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YAMANE, Katsumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ENDO, Jirou [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HIRAKI, Tsutomu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YAMANE, Katsumi; (JP).
ENDO, Jirou; (JP).
HIRAKI, Tsutomu; (JP)
代理人: ISHIJIMA, Shigeo; Toranomonkougyou Bldg., 3F, 1-2-18, Toranomon, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
優先権情報:
2009-243901 22.10.2009 JP
2009-243902 22.10.2009 JP
2009-243903 22.10.2009 JP
発明の名称: (EN) VACUUM TREATMENT APPARATUS AND GRAPH PRESENTATION METHOD
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT SOUS VIDE ET PROCÉDÉ DE PRÉSENTATION DE GRAPHE
(JA) 真空処理装置、グラフ表示方法
要約: front page image
(EN)Some of measured values are extracted and graphically represented, so that easy comparison among the extracted measured values is enabled. Numerous measured values are presented in the form of a primary graph (132) on a screen (100) after being read in, measured values to be subjected to comparison are extracted by indicating starting points, and the thus extracted measured values are presented in the forms of secondary graphs (134a and 134b). When the secondary graphs (134a and 134b) are not being superimposed on each other, the secondary graphs (134a and 134b) can be superimposed on each other in such a manner that, after an amount of misalignment between the graph lines (134a and 134b) is measured by use of first and second main measurement lines (101 and 102), any one of these misaligned secondary graphs (134a and 134b) is moved.
(FR)Selon l'invention, on extrait et on représente graphiquement certaines de plusieurs valeurs mesurées, afin de permettre une comparaison aisée entre les valeurs mesurées extraites. On présente sur un écran (100) de nombreuses valeurs mesurées sous la forme d'un graphe primaire (132) après que celles-ci aient été lues, on extrait les valeurs mesurées devant être soumises à une comparaison par indication du point de départ, et on présente les valeurs mesurées ainsi extraites sous la forme de graphes secondaires (134a et 134b). Lorsque les graphes secondaires (134a et 134b) ne se superposent pas l'un à l'autre, on peut procéder à cette superposition de telle manière qu'après mesure d'une valeur de désalignement entre les lignes de graphe (134a et 134b) au moyen de première et seconde lignes de mesure principales (101 et 102), on déplace l'un quelconque de ces graphes secondaires désalignés (134a et 134b).
(JA) 測定値の一部を抽出し、グラフ化して抽出した測定値同士を簡単に比較できるようにする。多量の測定値を読み込んで画面100上に一次グラフ132として表示させ、始点を指示して比較対象となる測定値を抽出し、抽出した測定値を二次グラフ134a、134bで表示する。二次グラフ134a、134bが重ね合わされていないときは、第一、第二の主メジャー線101、102によってグラフ線134a、134bのずれ量を測定し、ずれている二次グラフ134a、134bの一方を移動させて重ね合わせることができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)