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1. (WO2011048896) フローコントローラ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/048896    国際出願番号:    PCT/JP2010/066034
国際公開日: 28.04.2011 国際出願日: 16.09.2010
IPC:
G05D 7/06 (2006.01), G01F 1/00 (2006.01), G01F 1/692 (2006.01), G05D 7/03 (2006.01)
出願人: SMC KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 4-14-1, Sotokanda, Chiyoda-ku, Tokyo 1010021 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SAKASEGAWA Takeshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OSHIMA Yuta [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SAKASEGAWA Takeshi; (JP).
OSHIMA Yuta; (JP)
代理人: CHIBA Yoshihiro; Shinjuku Maynds Tower 16F, 1-1, Yoyogi 2-chome, Shibuya-ku, Tokyo 1510053 (JP)
優先権情報:
2009-241343 20.10.2009 JP
発明の名称: (EN) FLOW CONTROLLER
(FR) DISPOSITIF DE RÉGULATION DE DÉBIT
(JA) フローコントローラ
要約: front page image
(EN)A flow controller (10) includes a flow detection unit (14) that is provided with a detection unit (12) for detecting the flow rate of a fluid; and a flow control unit (18) that is coupled to the flow detection unit (14) and that is capable of adjusting the flow rate of the fluid. The detection sensor (38) constituting the detection unit (12) comprises a thermal flow sensor using MEMS technology, and the flow rate of the fluid that has been detected by the detection sensor (38) is output to a control unit (24). In addition, in the flow control unit (18), the supply state of air to a supply room (84) is switched by each of a supply-use solenoid valve (92) and an exhaust-use solenoid valve (94), and on the basis of the supply state of the air, a control valve (58) opens and closes.
(FR)Un dispositif de régulation de débit (10) comprend une unité de détection de débit (14) pourvue d'une unité de détection (12) permettant de détecter le débit d'un fluide ; et une unité de régulation de débit (18) couplée à l'unité de détection de débit (14) et à même de réguler le débit du fluide. Le détecteur (38) constituant l'unité de détection (12) comprend un capteur de flux thermique utilisant la technologie MEMS, et le débit du fluide qui a été détecté par le détecteur (38) est transmis à une unité de régulation (24). De plus, dans l'unité de régulation de débit (18), l'état de l'alimentation en air d'un espace d'alimentation (84) est commuté par une électrovanne utilisée pour l'alimentation (92) et par une électrovanne utilisée pour l'évacuation (94), et une vanne de régulation (58) s'ouvre et se ferme sur la base de l'état de l'alimentation en air.
(JA) フローコントローラ(10)は、流体の流量を検出する検出部(12)を備えた流量検出ユニット(14)と、該流量検出ユニット(14)に連結され前記流体の流量を調整可能な流量制御ユニット(18)とを含む。この検出部(12)を構成する検出センサ(38)は、MEMS技術を用いた熱式のフローセンサからなり、前記検出センサ(38)で検出された流体の流量が制御部(24)へと出力される。また、流量制御ユニット(18)では、供給室(84)への空気の供給状態が、供給用電磁弁(92)及び排出用電磁弁(94)によってそれぞれ切り換えられ、前記空気の供給状態に基づいて制御弁(58)が開閉動作する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)