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1. (WO2011046116) ガス電解電離イオン源、イオンビーム装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/046116    国際出願番号:    PCT/JP2010/067872
国際公開日: 21.04.2011 国際出願日: 12.10.2010
IPC:
H01J 27/26 (2006.01), H01J 37/08 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KAWANAMI Yoshimi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ISHITANI Tohru [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KAWANAMI Yoshimi; (JP).
ISHITANI Tohru; (JP)
代理人: HIRAKI Yusuke; Kamiya-cho MT Bldg. 19F, 3-20, Toranomon 4-chome, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
優先権情報:
2009-237599 14.10.2009 JP
発明の名称: (EN) GAS FIELD IONIZATION ION SOURCE AND ION BEAM DEVICE
(FR) SOURCE D'IONS D'IONISATION DE CHAMP DE GAZ ET DISPOSITIF DE FAISCEAU D'IONS
(JA) ガス電解電離イオン源、イオンビーム装置
要約: front page image
(EN)Disclosed is a gas field ionization ion source that can emit, with a high luminance, heavy ions which are suitable for processing a sample. The gas field ionization ion source is provided with a temperature control unit which separately controls the temperature of the leading end portion of an emitter electrode (1) and the temperature of the gas outlet portion (3) of a gas supply unit.
(FR)L'invention porte sur une source d'ions d'ionisation de champ de gaz, ladite source pouvant émettre, avec une luminance élevée, des ions lourds qui sont appropriés pour traiter un échantillon. La source d'ions d'ionisation de champ de gaz comporte une unité de commande de température qui commande séparément la température de la partie extrémité avant d'une électrode d'émetteur (1) et la température de la partie sortie de gaz (3) d'une unité d'alimentation en gaz.
(JA) 試料の加工に適した重たいイオンを高輝度で放出することができるガス電解電離イオン源を提供する。 本発明に係るガス電解電離イオン源は、エミッタ電極(1)の先端部の温度とガス供給部のガス放出口部分(3)の温度を個別に制御する温度制御部を備えている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)