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1. (WO2011045829) シリコン純度測定器、シリコン選別装置、及びシリコン純度測定方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/045829    国際出願番号:    PCT/JP2009/005324
国際公開日: 21.04.2011 国際出願日: 13.10.2009
IPC:
G01N 27/72 (2006.01)
出願人: TOYO GLASS CO., LTD. [JP/JP]; 18-1, Higashi-Gotanda 2-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410022 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TAKIZAWA, Tsutomu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NARUKAWA, Toshiaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TAKIZAWA, Tsutomu; (JP).
NARUKAWA, Toshiaki; (JP)
代理人: KUSHIBUCHI & ASSOCIATES; Sonic-City Bldg. 18F., 1-7-5, Sakuragi-cho, Omiya-ku, Saitama-shi, Saitama 3308669 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) SILICON PURITY MEASURING INSTRUMENT, SILICON SORTING APPARATUS, AND SILICON PURITY MEASURING METHOD
(FR) INSTRUMENT DE MESURE DE PURETÉ DE SILICIUM, APPAREIL DE TRI DE SILICIUM ET PROCÉDÉ DE MESURE DE PURETÉ DE SILICIUM
(JA) シリコン純度測定器、シリコン選別装置、及びシリコン純度測定方法
要約: front page image
(EN)Provided is a silicon purity measuring instrument which prevents silicon from being contaminated with metals and measures the purity inside of the silicon. A silicon sorting apparatus and a silicon purity measuring method are also provided. A silicon purity measuring instrument (10) is provided with: an inspecting table; a magnetic field generator (14) which generates a magnetic field for measurement such that a magnetic flux permeates inside of the silicon disposed on the inspecting table; and a determining section (36) which determines the attenuation degree of the magnetic field after instantaneously interrupting the magnetic field for measurement. The purity inside of the silicon is identified based on the attenuation degree determined by the determining section (36).
(FR)L'invention porte sur un instrument de mesure de pureté de silicium, qui empêche du silicium d'être contaminé avec des métaux et qui mesure la pureté à l'intérieur du silicium. L'invention porte également sur un appareil de tri de silicium et sur un procédé de mesure de pureté de silicium. Un instrument de mesure de pureté de silicium (10) comporte : une table d'inspection ; un générateur de champ magnétique (14) qui génère un champ magnétique pour la mesure, de telle sorte qu'un flux magnétique pénètre à l'intérieur du silicium disposé sur la table d'inspection ; et une section de détermination (36) qui détermine le degré d'atténuation du champ magnétique après l'interruption instantanée du champ magnétique pour la mesure. La pureté à l'intérieur du silicium est identifiée en fonction du degré d'atténuation déterminé par la section de détermination (36).
(JA) シリコンの金属汚染を防止し、シリコンの内部の純度を測定できるシリコン純度測定器、シリコン選別装置、及びシリコン純度測定方法を提供する。 シリコン純度測定器10は、検査台と、この検査台上に配置したシリコンの内部に磁束が透過するように測定用磁界を発生させる磁界発生器14と、測定用磁界を瞬断した後の磁界の減衰度合いを判定する判定部36とを備え、判定部36が判定した減衰度合いからシリコンの内部の純度を特定する構成とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)