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1. (WO2011040350) 電磁波測定装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/040350    国際出願番号:    PCT/JP2010/066636
国際公開日: 07.04.2011 国際出願日: 17.09.2010
IPC:
G01N 21/17 (2006.01), G01N 21/35 (2006.01)
出願人: ADVANTEST Corporation [JP/JP]; 32-1, Asahi-cho 1-chome, Nerima-ku, Tokyo 1790071 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NISHINA, Shigeki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IMAMURA, Motoki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NISHINA, Shigeki; (JP).
IMAMURA, Motoki; (JP)
代理人: HOSODA, Masutoshi; Jowa Takanawa BLDG. 7F 5-4, Takanawa 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1080074 (JP)
優先権情報:
2009-228211 30.09.2009 JP
発明の名称: (EN) ELECTROMAGNETIC WAVE MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE D'ONDES ÉLECTROMAGNÉTIQUES
(JA) 電磁波測定装置
要約: front page image
(EN)In order to obtain desired spatial resolution when an object to be measured is measured by applying electromagnetic waves (the frequency of which is 0.01-100 [THz]) including terahertz waves, disclosed is an electromagnetic wave measurement device provided with an incidence lens (22) which, while reducing the beam diameter of measurement electromagnetic waves having a frequency of 0.01-100 [THz], applies the measurement electromagnetic waves to an object to be measured, a scanning stage (6) which, with a straight line (A) in the direction perpendicular to the light axis of the incidence lens (22) as a rotation axis, rotates the object to be measured (1) or the light axis (L), and an electromagnetic wave detector (4) which detects the measurement electromagnetic waves transmitted through the object to be measured (1). The coordinate in the light axis (L) of a position at which the beam diameter is a minimum value (d) is different from the coordinate in the light axis (L) of the rotation axis (A).
(FR)L'invention vise à obtenir une résolution spatiale désirée lorsqu'un objet à mesurer est mesuré en appliquant des ondes électromagnétiques (dont la fréquence est de 0,01 à 100 [THz]) incluant des ondes dans le domaine du térahertz, ceci étant réalisé au moyen d'un dispositif de mesure d'ondes électromagnétiques muni d'une lentille d'incidence (22) qui, alors qu'elle réduit le diamètre du faisceau d'ondes électromagnétiques en mesure présentant une fréquence de 0,01 à 100 [THz], applique les ondes électromagnétiques en mesure à un objet à mesurer, un étage de balayage (6) qui, grâce à une ligne droite (A) dans la direction perpendiculaire à celle de l'axe lumineux de la lentille d'incidence (22) comme axe de rotation, fait tourner l'objet à mesurer (1) ou l'axe lumineux (L), et un détecteur d'ondes électromagnétiques (4) qui détecte les ondes électromagnétiques en mesure transmises au travers de l'objet à mesurer (1). La coordonnée de l'axe lumineux (L) d'une position à laquelle le diamètre du faisceau se trouve à sa valeur minimale (d) est différente de la coordonnée de l'axe lumineux (L) de l'axe de rotation (A).
(JA)テラヘルツ波を含む電磁波(周波数が0.01[THz]以上100[THz]以下)を被測定物に与えて測定する際に、所望の空間分解能を得る。電磁波測定装置は、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に測定用電磁波を与える入射用レンズ22と、入射用レンズ22の光軸と垂直な方向の直線Aを回転軸として、被測定物1または光軸Lを回転させる走査用ステージ6と、被測定物1を透過した測定用電磁波を検出する電磁波検出器4とを備える。しかも、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標が、回転軸Aの光軸Lにおける座標とは異なる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)