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1. (WO2011040223) 表面欠陥検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/040223    国際出願番号:    PCT/JP2010/065781
国際公開日: 07.04.2011 国際出願日: 14.09.2010
IPC:
G01N 21/956 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishishimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SUZUKI, Katsuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
JINGU, Takahiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SUZUKI, Katsuya; (JP).
JINGU, Takahiro; (JP)
代理人: ASAMURA PATENT OFFICE, p.c.; Tennoz Central Tower, 2-2-24, Higashi-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo 1408776 (JP)
優先権情報:
2009-227873 30.09.2009 JP
発明の名称: (EN) SURFACE-DEFECT INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE DÉFAUTS DE SURFACE
(JA) 表面欠陥検査装置
要約: front page image
(EN)Provided is a surface-defect inspection device in which fabrication defects are formed in a standard sample, said defects are analyzed by a foreign-material/defect determination mechanism, and defect data is supplied to a data-processing control unit. The data-processing control unit: computes the coordinate misalignment between the fabrication defects in the standard sample and detected defects; checks sensitivity (device sensitivity, such as luminance, brightness, and the like); and performs corrections in hardware, or if the coordinate misalignment is less than a prescribed amount, performs corrections in software. In the case of software correction, coordinate correction is performed for the entire standard sample and the coordinate misalignment is computed and verified. If the coordinate misalignment exceeds a tolerance, the standard sample is divided into regions and coordinate correction is performed for each region.
(FR)La présente invention a pour objet un dispositif d'inspection de défauts de surface, des défauts de fabrication étant formés dans un échantillon standard, lesdits défauts étant analysés par un mécanisme de détermination de corps étranger / défaut, et des données de défaut étant fournies à une unité de commande de traitement des données. L'unité de commande de traitement des données : calcule le mésalignement des coordonnées entre les défauts de fabrication dans l'échantillon standard et les défauts détectés; vérifie la sensibilité (la sensibilité du dispositif, telle que la luminance, la luminosité, et analogues); et réalise les corrections dans le disque dur, ou si le mésalignement des coordonnées est inférieur à une quantité prescrite, réalise les corrections dans le logiciel. Dans le cas d'une correction du logiciel, la correction des coordonnées est réalisée pour l'échantillon standard entier et le mésalignement des coordonnées est calculé et vérifié. Si le mésalignement des coordonnées dépasse une tolérance, l'échantillon standard est divisé en régions et une correction des coordonnées est réalisée pour chaque région.
(JA) 標準試料に作り込み欠陥が形成され異物欠陥判定機構により、欠陥が判定されてデータ処理制御部に欠陥データが供給される。データ処理制御部は、標準試料の作り込み欠陥と検出欠陥との座標ずれ量を算出し、感度(装置感度(輝度、明るさ等))の確認を行い、ハードウェアによる補正の実行に進む、座標ずれが一定値未満であれば、ソフトウェアによる補正を実行する。ソフトウェア補正の場合、標準試料全体の座標補正を行い座標ずれ量を算出し確認する。座標ずれ量が許容外であれば標準試料の分割した領域毎に座標補正を行う。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)