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1. (WO2011040067) 液体気化システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/040067    国際出願番号:    PCT/JP2010/055652
国際公開日: 07.04.2011 国際出願日: 30.03.2010
IPC:
B01D 1/22 (2006.01), B01J 7/00 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: CKD CORPORATION [JP/JP]; 250,Ouji 2-chome,Komaki-shi, Aichi 4858551 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KOUKETSU, Masayuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ITAFUJI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KOUKETSU, Masayuki; (JP).
ITAFUJI, Hiroshi; (JP)
代理人: YAMADA, Tsuyoshi; Daiichi Hasegawa Bldg.6F,13-24,Meieki 3-chome,Nakamura-ku,Nagoya-shi, Aichi 4500002 (JP)
優先権情報:
2009-226691 30.09.2009 JP
発明の名称: (EN) LIQUID VAPORIZATION SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE VAPORISATION DE LIQUIDE
(JA) 液体気化システム
要約: front page image
(EN)Disclosed is a liquid vaporization system which is capable of promoting vaporization of liquid material without problems caused by unvaporized matter. The liquid vaporization system (10) comprises a liquid vaporization assembly (20). This assembly (20) comprises a pump (11) and a vaporizer (12). The vaporizer (12) comprises a case (21), a heater placed inside the case (21), a heat-accumulating plate (23) heated by the heater, and a mesh (24) placed on the heat-accumulating plate (23). The mesh (24) is formed by interweaving a wire material (24a) in a flat plate shape as a whole. By overlaying the mesh (24) on the top face of the heat-accumulating plate (23), fine roughness is provided on the heat-accumulating plate (23) by the mesh (24). Above the mesh (24), a nozzle (27) is provided. From the nozzle (27), liquid material is dropped onto the heat-accumulating plate (mesh (24)). The liquid material spreads in a thin film state over the heat-accumulating plate (23), and is heated and vaporized on the upper face of the heat-accumulating plate (23).
(FR)Le système de vaporisation de liquide ci-décrit permet de favoriser la vaporisation d'une substance liquide, sans les problèmes causés par la substance résiduelle non vaporisée. Le système de vaporisation de liquide (10) selon l'invention comprend un ensemble vaporisation de liquide (20). Cet ensemble (20) comprend une pompe (11) et un vaporisateur (12). Le vaporisateur (12) comprend un carter (21), un chauffage placé à l'intérieur du carter (21), une plaque emmagasinant la chaleur (23) chauffée par le chauffage, et un grillage (24) placé sur la plaque emmagasinant la chaleur (23). Le grillage (24) est formé par un entrelacement de matériau de fil (24a) ayant la forme générale d'une plaque plate. Le grillage (24) superposé sur la surface supérieure de la plaque emmagasinant la chaleur (23) confère une rugosité fine à la plaque emmagasinant la chaleur (23). Une buse (27) est placée au-dessus du grillage (24) et laisse goutter une substance liquide sur la plaque emmagasinant la chaleur (grillage (24)). La substance liquide s'étale en film mince sur la plaque emmagasinant la chaleur (23), et est chauffée et vaporisée sur la surface supérieure de la plaque emmagasinant la chaleur (23).
(JA) 液体材料の残留の問題を解消しつつ、液体材料の気化の促進を図ることができる液体気化システムを提供する。 液体気化システム10には、液体気化装置20が設けられている。本装置20は、ポンプ11と、気化器12とを備えている。気化器12は、ケース21と、ケース21の内部に設けられたヒータと、ヒータにより加熱される蓄熱板23と、蓄熱板23上に設けられたメッシュ24とを備えている。メッシュ24は、線材24aが編み込まれることにより形成され、全体としては平板状をなしている。蓄熱板23の上面にメッシュ24が重ねられることで蓄熱板23上にはメッシュ24により微細な凹凸が設けられている。メッシュ24の上方にはノズル27が設けられ、ノズル27から液体材料が蓄熱板23(メッシュ24)上に滴下される。液体材料は蓄熱板23上を薄膜状に拡がり蓄熱板23の上面で加熱され気化される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)