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1. (WO2011039945) 検査装置およびその方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/039945    国際出願番号:    PCT/JP2010/005448
国際公開日: 07.04.2011 国際出願日: 06.09.2010
IPC:
G01N 21/956 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
INAGAKI, Katsuyasu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
AIKO, Kenji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KAMADA, Masaru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KUBO, Toshiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MIYAZAKI, Yusuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: INAGAKI, Katsuyasu; (JP).
AIKO, Kenji; (JP).
KAMADA, Masaru; (JP).
KUBO, Toshiro; (JP).
MIYAZAKI, Yusuke; (JP)
代理人: INOUE, Manabu; c/o HITACHI,LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
優先権情報:
2009-225875 30.09.2009 JP
発明の名称: (EN) INSPECTION DEVICE AND METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
(JA) 検査装置およびその方法
要約: front page image
(EN)Inspection units have moving parts such as XY-movement stage mechanisms and high-speed rotation mechanisms for inspecting the entire surfaces of substrates, and it is difficult for fan filter units (FFUs) to completely remove all foreign materials. The provided inspection device has: a fan filter unit divided into a plurality of regions; an exhaust unit, divided into a plurality of regions, for getting rid of air from the fan filter unit; and a transfer system disposed between the fan filter unit and the exhaust unit. The chief characteristic of the provided inspection device is that the flow rate in some of the regions of the fan filter unit and the flow rate in some of the regions of the exhaust unit are controlled in accordance with the operations of the transfer system.
(FR)Des unités d'inspection comportent des parties mobiles telles que des mécanismes de platine à mouvement XY et des mécanismes de rotation à grande vitesse pour inspecter la totalité des surfaces des substrats, et il est difficile à des unités de filtre à ventilateur (FFU) de retirer complètement toutes les matières étrangères. L'invention porte sur un dispositif d'inspection, qui comporte : une unité de filtre à ventilateur divisée en une pluralité de régions ; une unité d'évacuation, divisée en une pluralité de régions, pour se débarrasser de l'air venant de l'unité du filtre à ventilateur ; et un système de transfert disposé entre l'unité du filtre à ventilateur et l'unité d'évacuation. La caractéristique principale du dispositif d'inspection fourni est que le débit d'écoulement dans certaines des régions de l'unité du filtre à ventilateur et le débit d'écoulement dans certaines des régions de l'unité d'évacuation sont commandés en fonction des fonctionnements du système de transfert.
(JA) 検査部内には基板を全面検査するためにXY移動ステージ機構や高速回転機構などの可動部があり、ファンフィルタユニット(以下FFU)も、付着異物をゼロにすることは困難である。 本発明は、複数の領域に分割されたファンフィルタユニットと、前記ファンフィルタユニットからの空気を排気するための複数の領域に分割された排気ユニットと、前記ファンフィルタユニットと前記排気ユニットとの間に配置された搬送系とを有し、前記搬送系の動作に応じて、前記ファンフィルタユニットの一部の領域の流量と、前記排気ユニットの一部の領域の流量とを制御することを第1の特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)