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1. (WO2011021635) 基板処理システム、群管理装置及び基板処理システムにおける表示方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/021635    国際出願番号:    PCT/JP2010/063916
国際公開日: 24.02.2011 国際出願日: 18.08.2010
IPC:
H01L 21/02 (2006.01), C23C 16/52 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01)
出願人: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. [JP/JP]; 14-1, Sotokanda 4-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1018980 (JP) (米国を除く全ての指定国).
IWAKURA Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ASAI Kazuhide [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: IWAKURA Hiroyuki; (JP).
ASAI Kazuhide; (JP)
代理人: YUI Tohru; 21 TOWA BLDG. 3F, 6-1, Iidabashi 4-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1020072 (JP)
優先権情報:
2009-189887 19.08.2009 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, GROUP MANAGEMENT DEVICE, AND DISPLAY METHOD FOR SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRATS, DISPOSITIF DE GESTION DE GROUPE, ET PROCÉDÉ D'AFFICHAGE POUR LE SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRATS
(JA) 基板処理システム、群管理装置及び基板処理システムにおける表示方法
要約: front page image
(EN)A group management device is provided with a communication means which receives data from a substrate processing device, a storage means which stores the data received by the communication means such that the data can be read therefrom, and a graph creation means which creates a time series graph by accepting the input of a data search condition, searching the storage means, and graphing read data by superposing the read data chronologically, and also creates a process comparison graph by accepting the designation of a singular point in the time series graph and graphing the data read from the storage means and the singular point while associating the data and the singular point with substrate processing.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de gestion de groupe comportant un moyen de communication qui reçoit les données d'un dispositif de traitement de substrats, un moyen de stockage qui enregistre les données reçues par le moyen de communication de telle sorte que les données puissent être lues depuis celui-ci, et un moyen de création de graphique qui crée un graphique de séquence chronologique en recevant en entrée une condition de recherche de données, effectue une recherche dans le moyen de stockage, et crée un graphique des données lues en superposant chronologiquement les données lues, et qui crée également un graphique de comparaison de processus en recevant la désignation d'un point singulier dans le graphique de séquence chronologique et crée un graphique des données lues dans le moyen de stockage et le point singulier en associant les données et le point singulier à un traitement de substrats.
(JA) 群管理装置は、データを基板処理装置から受信する通信手段と、通信手段が受信したデータを読み出し可能に格納する格納手段と、データ検索条件の入力を受け付けて格納手段を検索し、読み出したデータを時系列に重ね合わせてグラフ化することで、時系列グラフを作成すると共に、時系列グラフ中における特異点の指定を受け付け、格納手段から読み出したデータおよび特異点を基板処理と対応させつつグラフ化することで、プロセス比較グラフを作成するグラフ作成手段と、を備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)