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1. (WO2011018932) 荷電粒子線装置及び画像表示方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/018932    国際出願番号:    PCT/JP2010/062173
国際公開日: 17.02.2011 国際出願日: 20.07.2010
IPC:
H01J 37/147 (2006.01), H01J 37/153 (2006.01), H01J 37/22 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishishimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HIRATO Tatsuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KOMURO Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KAWAMATA Shigeru [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HIRATO Tatsuya; (JP).
KOMURO Hiroyuki; (JP).
KAWAMATA Shigeru; (JP)
代理人: ASAMURA PATENT OFFICE, p.c.; Tennoz Central Tower, 2-2-24, Higashi-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo 1408776 (JP)
優先権情報:
2009-185396 10.08.2009 JP
発明の名称: (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND IMAGE DISPLAY METHOD
(FR) DISPOSITIF DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET PROCÉDÉ D'AFFICHAGE D'IMAGE
(JA) 荷電粒子線装置及び画像表示方法
要約: front page image
(EN)A charged particle beam device comprises a charged particle source, an objective lens (12) for converging a primary-charged particle beam (3) emitted from the charged particle source, a scanning deflector (11) for scanning a sample with the primary-charged particle beam (3), and a detector for detecting signal particles generated from the sample by the scanning with the primary-charged particle beam. The charged particle beam device generates a sample image by using the signal particles detected by the detector. The charged particle beam device also includes a deflector (10) for deflecting an irradiation angle of the primary-charged particle beam on the sample, first and second independent power sources (24, 36) for supplying current to the deflector, and a switch (34) for switching voltages applied from the two power sources by a line or a frame of scanning with the primary-charged particle beam.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de faisceau de particules chargées, comprenant une source de particules chargées, une lentille de focalisation (12) pour faire converger un faisceau de particules chargées primaires (3) émis depuis la source de particules chargées, un déflecteur de balayage (11) pour balayer un échantillon avec le faisceau de particules chargées primaires (3), et un détecteur pour détecter les particules signal générées depuis l'échantillon par le balayage avec le faisceau de particules chargées primaires. Le dispositif de faisceau de particules chargées génère une image échantillon en utilisant les particules signal détectées par le détecteur. Le dispositif de faisceau de particules chargées comprend également un déflecteur (10) pour défléchir un angle d'irradiation du faisceau de particules chargées primaires sur l'échantillon, des première et seconde sources électriques indépendantes (24, 36) pour alimenter en courant le déflecteur, et un commutateur (34) pour commuter les tensions appliquées à partir des deux sources électriques par une ligne ou une trame de balayage avec le faisceau de particules chargées primaires.
(JA) 本発明は、荷電粒子源と、荷電粒子源から放出される一次荷電粒子線(3)を集束する対物レンズ(12)と、一次荷電粒子線(3)を試料上で走査する走査偏向器(11)と、一次荷電粒子線の走査によって試料から発生する信号粒子を検出する検出器と、検出器の信号粒子を用いて試料像を取得する荷電粒子線装置において、一次荷電粒子線の試料への照射角を偏向する偏向器(10)と、偏向器に電流を流す独立した第一及び第二の電源(24、36)を備え、一次荷電粒子線の走査の一ライン単位又は一フレーム単位で、2つの電源から印加する電圧を切り替えるスイッチ(34)を備えることを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)