WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |

World Intellectual Property Organization
1. (WO2011016471) 薄膜積層体の製造装置

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/016471    国際出願番号:    PCT/JP2010/063151
国際公開日: 10.02.2011 国際出願日: 04.08.2010
C23C 14/56 (2006.01), C23C 16/54 (2006.01), H01L 31/04 (2006.01)
出願人: Fuji Electric Holdings Co., Ltd. [JP/JP]; 1-1, Tanabeshinden, Kawasaki-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2100856 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NISHIZAWA, Masanori [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YOKOYAMA, Shoji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAMADA, Takanori [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NISHIZAWA, Masanori; (JP).
YOKOYAMA, Shoji; (JP).
YAMADA, Takanori; (JP)
代理人: OKUYAMA, Shoichi; 7th Floor, Akasaka Eight One Building, 13-5, Nagata-cho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000014 (JP)
2009-183315 06.08.2009 JP
(JA) 薄膜積層体の製造装置
要約: front page image
(EN)Provided is an apparatus for producing a thin-film lamination, which makes it possible to prevent slackness when a flexible strip-like substrate is being fed or to prevent offset when said flexible strip-like substrate is wound on a winding roll. An apparatus for producing a thin-film lamination, in which a flexible strip-like substrate is fed in the transverse direction in such a way that the widthwise direction of the flexible strip-like substrate which has been wound into a roll is oriented vertically, is provided with a film-forming chamber in the feed direction of the flexible strip-like substrate. The flexible strip-like substrate is fed to the film-forming chamber and a thin film is formed on the flexible strip-like substrate by means of a film-forming apparatus provided in the film-forming chamber, and a thin-film lamination is wound into a roll-shape. In the apparatus for producing a thin-film lamination, an adjusting roll (9) is provided at the stage before a winding apparatus (4) for winding a thin-film lamination (1A) into a roll-shape, and a pair of grip rollers (7, 8) for pinching at least the top end of the thin-film lamination (1A) in order to hold and feed a fixed height thereof are disposed at the stage before the adjusting roll (9).
(FR)Appareil de laminage d'un film mince permettant d'empêcher le phénomène de « mou » lors de l'alimentation d'un support en bande souple ou d'éviter un déport lorsque le dit support en bande souple est enroulé sur un rouleau de bobinage. Dispositif de laminage de film mince dans lequel un support en bande souple avance dans la direction transversale de tel sorte que la direction dans le sens de la largeur dudit support qui a été enroulé sur un rouleau est dirigée verticalement, ce dispositif comportant une chambre de formation de film dans la direction d'avance du support en bande souple. Après pénétration du support dans la chambre de formation de film, un film mince est formé au moyen de l'appareil monté dans cette chambre, le film mince laminé étant enroulé. Dans ledit appareil, on trouve un rouleau de réglage (9) disposé en amont du dispositif d'enroulement (4) pour film laminé (1A). Le rouleau de réglage (9) est lui-même précédé d'une paire de galets de préhension (7, 8) qui pincent au moins l'extrémité supérieure du film mince laminé (1A) dans le but de le maintenir et de faire avancer une hauteur fixe de ce dernier.
(JA) 帯状可撓性基板の搬送時の弛みあるいは巻取りロールに対する巻取り時のずれを防止し得る薄膜積層体の製造装置を提供する。 ロール状に巻かれた帯状可撓性基板の幅方向が縦姿勢になるようにして、帯状可撓性基板を横方向に搬送し、該帯状可撓性基板の搬送方向に成膜室を設け、該成膜室に、帯状可撓性基板を搬送して、成膜室に設けられた成膜装置によって帯状可撓性基板に薄膜を成膜して薄膜積層体をロール状に巻き取る薄膜積層体の製造装置において、前記薄膜積層体1Aをロール状に巻き取る巻取り装置4の前段に調整ロール9を設け、この調整ロール9の前段に、前記薄膜積層体1Aの少なくとも上端部を挟持して一定の高さを保持して搬送する一対のグリップローラ7,8を配置したことにある。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)