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1. (WO2011016266) パルス変調高周波電力制御方法およびパルス変調高周波電源装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/016266    国際出願番号:    PCT/JP2010/053610
国際公開日: 10.02.2011 国際出願日: 05.03.2010
IPC:
H05H 1/46 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01), H03F 3/217 (2006.01), H03K 5/00 (2006.01), H03K 5/156 (2006.01), H05H 1/00 (2006.01)
出願人: KYOSAN ELECTRIC MFG. CO., LTD. [JP/JP]; 29-1, Heiancho 2-chome, Tsurumi-ku, Yokohama-shi Kanagawa 2300031 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YUZURIHARA, Itsuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HATA, Yoshihisa [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YUZURIHARA, Itsuo; (JP).
HATA, Yoshihisa; (JP)
代理人: SHIONOIRI, Akio; Fujisawa-Central Bldg. 6F, 1-4, Kugenuma-Tachibana 1-chome, Fujisawa-shi Kanagawa 2510024 (JP)
優先権情報:
2009-184411 07.08.2009 JP
発明の名称: (EN) PULSE-MODULATED HIGH-FREQUENCY POWER CONTROL METHOD AND PULSE-MODULATED HIGH-FREQUENCY POWER SOURCE DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE COMMANDE DE PUISSANCE HAUTE FRÉQUENCE MODULÉ PAR IMPULSIONS ET DISPOSITIF DE SOURCE DE PUISSANCE HAUTE FRÉQUENCE MODULÉ PAR IMPULSIONS
(JA) パルス変調高周波電力制御方法およびパルス変調高周波電源装置
要約: front page image
(EN)Disclosed is a pulse-modulated high-frequency power control method comprised of an output amplitude control process for controlling the amplitude of a pulse output and a duty control process for controlling the duty ratio of a pulse output. In the output amplitude control process, the amplitude value of a pulse output is controlled to perform a constant amplitude control so that the amplitude value is identical to a setup amplitude value. In the constant amplitude control performed by the output amplitude control, for example, the amplitude value of a pulse generated by controlling the electric power is fed back, a difference value between the feedback value and a predetermined setup amplitude value is obtained, and the amplitude vale of the pulse output is controlled so that the difference value is zero.
(FR)L'invention concerne un procédé de commande de puissance haute fréquence modulé par impulsions, composé d'un procédé de commande d'amplitude de sortie pour commander l'amplitude d'une sortie d'impulsion et un procédé de commande de marche pour commander le facteur de marche d'une sortie d'impulsion. Dans le procédé de commande d'amplitude de sortie, la valeur d'amplitude d'une sortie d'impulsion est commandée pour réaliser une commande d'amplitude constante de telle sorte que la valeur d'amplitude soit identique à une valeur d'amplitude de réglage. Dans la commande d'amplitude constante réalisée par la commande d'amplitude de sortie, par exemple, la valeur d'amplitude d'une impulsion générée en commandant la puissance électrique est alimentée en retour, une valeur de différence entre la valeur de rétroaction et une valeur d'amplitude de réglage prédéfinie est obtenue, et la valeur d'amplitude de la sortie d'impulsion est commandée de telle sorte que la valeur de différence soit égale à zéro.
(JA)パルス変調高周波電力制御方法は、パルス出力の振幅を制御する出力振幅制御工程と、パルス出力のデューティー比を制御するデューティー制御工程とを備える。出力振幅制御工程は、パルス出力の振幅値を制御して、振幅値が設定振幅値となるように定振幅制御を行う。出力振幅制御による定振幅制御は、例えば、電力制御によって出力されるパルス出力の振幅値をフィードバックし、このフィードバック値と予め設定しておいた設定振幅値との差分値を求め、この差分値が零となるように、パルス出力の振幅値を制御する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)