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1. (WO2011016254) 移動体装置、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/016254    国際出願番号:    PCT/JP2010/004971
国際公開日: 10.02.2011 国際出願日: 06.08.2010
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHIBAZAKI, Yuichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SHIBAZAKI, Yuichi; (JP)
代理人: TATEISHI, Atsuji; TATEISHI & CO., Karakida Center Bldg., 1-53-9, Karakida, Tama-shi, Tokyo 2060035 (JP)
優先権情報:
2009-184395 07.08.2009 JP
2009-184434 07.08.2009 JP
2009-184451 07.08.2009 JP
2009-184472 07.08.2009 JP
発明の名称: (EN) MOVING BODY APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL DE CORPS MOBILE, APPAREIL D'EXPOSITION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
(JA) 移動体装置、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法
要約: front page image
(EN)Four Y-linear motors (36-39) for driving a stage (RST) include four stator sections (36-39) and six movable element sections (24-29). The movable element section (25) is shared by the Y-linear motors (36, 37), and the movable element section (28) is shared by the Y-linear motors (38, 39). The configuration reduces the weight of the movable section (reticle stage (RST)) of a reticle stage apparatus to enhance the acceleration of the reticle stage apparatus. The movable element sections (25, 28) located at the centers, respectively, of movable elements (30A, 30B) in the Z-axis direction are aligned with the neutral plane of the reticle stage (RST).
(FR)Selon cette invention, quatre moteurs linéaires sur l'axe Y (36-39) destinés à entraîner un étage (RST) comprennent quatre sections de stator (36-39) et six sections d'élément mobile (24-29). La section d'élément mobile (25) est partagée par les moteurs linéaires sur l'axe Y (36, 37), et la section d'élément mobile (28) est partagée par les moteurs linéaires sur l'axe Y (38, 39). La configuration réduit le poids de la section mobile (étage de réticule (RST)) d'un appareil à étage de réticule dans le but d'améliorer l'accélération de l'appareil à étage de réticule. Les sections d'élément mobile (25, 28) situées aux centres, respectivement, des éléments mobiles (30A, 30B) sur l'axe Z sont alignés avec le plan neutre de l'étage de réticule (RST).
(JA) ステージ(RST)を駆動する4つYリニアモータ(36~39)が、4つの固定子部(36~39)と6つの可動子部(24~29)とを含む。ここで、可動子部(25)はYリニアモータ(36,37)に、可動子部(28)はYリニアモータ(38,39)により共用されている。このため、レチクルステージ装置の可動部(レチルクステージRST)が軽量化され、その高加速度化が可能となる。また、可動子(30A,30B)それぞれのZ軸方向中央に位置する可動子部(25、28)は、レチクルステージ(RST)の中立面に一致している。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)