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1. (WO2010134354) 炭素膜の形成方法、磁気記録媒体の製造方法及び炭素膜の形成装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/134354    国際出願番号:    PCT/JP2010/003439
国際公開日: 25.11.2010 国際出願日: 21.05.2010
IPC:
G11B 5/84 (2006.01), C01B 31/02 (2006.01), C23C 16/26 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01)
出願人: Showa Denko HD Singapore Pte. Ltd. [SG/SG]; 2, Pioneer Crescent, Singapore 628553 (SG) (米国を除く全ての指定国).
OTA, Ichiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OTA, Ichiro; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
優先権情報:
2009-124515 22.05.2009 JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR FORMING CARBON FILM, METHOD FOR MANUFACTURING MAGNETIC RECORDING MEDIUM, AND APPARATUS FOR FORMING CARBON FILM
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UNE COUCHE MINCE DE CARBONE, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN SUPPORT D'ENREGISTREMENT MAGNÉTIQUE, ET APPAREIL DE FORMATION D'UNE COUCHE MINCE DE CARBONE
(JA) 炭素膜の形成方法、磁気記録媒体の製造方法及び炭素膜の形成装置
要約: front page image
(EN)A method for forming a carbon film has a step wherein, in a film-forming chamber, which is provided with a filament-like cathode electrode, an anode electrode provided at the periphery of the cathode electrode and a substrate holder disposed at a position separated from the cathode electrode, a disc-like substrate having a center opening is disposed on a substrate holder with one surface of the substrate facing the cathode electrode, and a columnar member, which has a diameter equivalent to that of the center opening or more and a height equivalent to the diameter of the columnar member or more, is disposed by being spaced apart from the cathode electrode and the substrate such that the center axis is coaxial with the center axis of the substrate, one circular surface faces the cathode electrode and the other circular surface is parallel to the said surface of the substrate. The method also has a step wherein carbon ions are flowed toward the substrate side from the cathode electrode side after releasing the air from the film-forming chamber, and the carbon film is formed on the said surface of the substrate.
(FR)La présente invention se rapporte à un procédé de formation d'une couche mince de carbone. Le procédé selon l'invention comprend une étape dans laquelle, dans une chambre de formation de couche mince qui est pourvue d'une électrode cathode semblable à un filament, d'une électrode anode qui est placée à la périphérie de l'électrode cathode et d'un support de substrat qui est placé à un endroit distinct par rapport à l'électrode cathode, un substrat semblable à un disque comportant une ouverture centrale est placé sur un support de substrat avec une surface du substrat dirigée vers l'électrode cathode. D'autre part, un élément en forme de colonne, qui a un diamètre équivalent à celui de l'ouverture centrale ou plus et une hauteur équivalente au diamètre de l'élément en forme de colonne ou plus, est placé à distance de l'électrode cathode et du substrat de telle sorte que l'axe central soit coaxial avec l'axe central du substrat. Par ailleurs, une surface circulaire de l'élément en forme de colonne est dirigée vers l'électrode cathode et l'autre surface circulaire de l'élément en forme de colonne est parallèle à ladite surface du substrat. Le procédé selon l'invention comprend également une étape dans laquelle des ions de carbone sont amenés à circuler vers le côté de substrat depuis le côté d'électrode cathode après évacuation de l'air hors de la chambre de formation de couche mince, et la couche mince de carbone est formée sur ladite surface du substrat.
(JA) フィラメント状のカソード電極と、前記カソード電極の周囲に設けられたアノード電極と、前記カソード電極から離間された位置に配置された基板ホルダと、を備えた成膜室内で、中央開口部を有する円盤状の基板を、その一面を前記カソード電極と対向させて基板ホルダに配置するとともに、前記中央開口部の径以上の直径と、前記直径以上の高さとを有する円柱状部材を、その中心軸を前記基板の中心軸と同軸にし、かつ、一の円形面を前記カソード電極に向け、他の円形面を前記基板の一面に平行となるように、前記カソード電極及び前記基板から離間して配置する工程と、前記成膜室内を排気した後に、前記カソード電極側から前記基板側へ向けて炭素イオンを流して、前記基板の一面に炭素膜を形成する工程とを有することを特徴とする炭素膜の形成方法。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)