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1. WO2010134343 - 形状測定装置、観察装置および画像処理方法

公開番号 WO/2010/134343
公開日 25.11.2010
国際出願番号 PCT/JP2010/003385
国際出願日 20.05.2010
IPC
G01B 11/24 2006.01
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
24輪郭または曲率の測定用
G01B 9/02 2006.01
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
9このサブグループに記述され,かつ光学的測定手段の使用によって特徴づけられた計器
02干渉計
CPC
G01B 9/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
04Measuring microscopes
G02B 21/0016
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21Microscopes
0004specially adapted for specific applications
0016Technical microscopes, e.g. for inspection or measuring in industrial production processes
G02B 21/367
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21Microscopes
36arranged for photographic purposes or projection purposes
365Control or image processing arrangements for digital or video microscopes
367providing an output produced by processing a plurality of individual source images, e.g. image tiling, montage, composite images, depth sectioning, image comparison
出願人
  • 株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 西川孝 NISHIKAWA, Takashi [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 西川孝 NISHIKAWA, Takashi
代理人
  • 大西正悟 OHNISHI, Shogo
優先権情報
2009-12276221.05.2009JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SHAPE MEASURING DEVICE, OBSERVATION DEVICE, AND IMAGE PROCESSING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE FORME, DISPOSITIF D'OBSERVATION ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'IMAGES
(JA) 形状測定装置、観察装置および画像処理方法
要約
(EN)
Provided is a shape measuring device whereby the shapes of objects to be measured can be identified at a high resolution, an observation device, and an image processing method. The shape measuring device is equipped with the following: a high speed image processor (34) wherein one target image and at least one reference image other than the target image are extracted from a plurality of images, wherein a digital operator (OP1) is caused to act on the target image and the reference image, and wherein local degrees of combined focusing are calculated for each pair of extracted target image and reference image on a pixel by pixel basis with respect to the target image; and a control computer (35) wherein the surface heights of objects to be measured are found on the basis of those relative movement positions pertaining to a plurality of local degrees of combined focusing calculated on a pixel by pixel basis which become maximum for each pixel. The digital operator (OP1) has coefficients which, in the calculation of local degrees of combined focusing, are weighted with respect to the pixel values of observed pixels of target images and to the pixel values of adjacent pixels existing at pixel locations different from locations of observed pixels in the reference image. Degrees of combined focusing are derivative values of the following as acted upon by the digital operator (OP1): pixel values of pixels observed; and pixel values of adjacent pixels.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif de mesure de forme par lequel les formes d'objets devant être mesurés peuvent être identifiées avec une résolution élevée ; elle concerne également un dispositif d'observation et un procédé de traitement d'images. Le dispositif de mesure de forme est équipé des éléments suivants : un processeur d'images à grande vitesse (34), une image cible et au moins une image de référence différente de l'image cible étant extraites d'une pluralité d'images, un opérateur numérique (OP1) étant amené à agir sur l'image cible et l'image de référence, et des degrés locaux de focalisation combinée étant calculés pour chaque paire d'image cible extraite et d'image de référence sur une base de pixel par pixel par rapport à l'image cible ; et un ordinateur de commande (35), les hauteurs de surface des objets devant être mesurés étant trouvées sur la base des positions de mouvements relatifs qui appartiennent à une pluralité de degrés locaux de focalisation combinée calculés sur une base de pixel par pixel qui deviennent maximums pour chaque pixel. L'opérateur numérique (OP1) possède des coefficients qui, dans le calcul des degrés locaux de focalisation combinée, sont pondérés par rapport aux valeurs de pixels de pixels observés d'images cibles et aux valeurs de pixels de pixels adjacents existant en des emplacements de pixels différents des emplacements des pixels observés dans l'image de référence. Des degrés de focalisation combinée sont des valeurs dérivées de ce qui suit comme effectué par l'opérateur numérique (OP1) : valeurs de pixels des pixels observés ; et valeurs de pixels des pixels adjacents.
(JA)
 被測定物の形状を高分解能で識別することが可能な構成の形状測定装置、観察装置および画像処理方法を提供する。 形状測定装置は、複数の画像のうちから、1つの対象画像と対象画像を除く少なくとも1つの参考画像とを抽出して、対象画像と参考画像とにディジタルオペレータ(OP1)を作用させて、抽出された対象画像と参考画像の組ごとに対象画像の画素単位で局所合焦度を算出する高速画像プロセッサ(34)と、画素単位で算出された複数の局所合焦度のうち画素毎に最大となる相対移動位置に基づいて、被測定物の表面高さを求める制御用コンピュータ(35)とを備え、ディジタルオペレータ(OP1)は、局所合焦度を算出する上で、対象画像の注目画素の画素値と、参考画像において注目画素とは異なる画素位置に存する隣接画素の画素値とに対して重み付けがされた係数を持ち、局所合焦度は、ディジタルオペレータ(OP1)による注目画素の画素値と隣接画素の画素値との微分値である。
関連公開情報:
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