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1. (WO2010134126) プラズマ装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/134126    国際出願番号:    PCT/JP2009/002209
国際公開日: 25.11.2010 国際出願日: 19.05.2009
IPC:
H05H 1/46 (2006.01), C23C 16/509 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
出願人: NISSIN ELECTRIC CO., LTD. [JP/JP]; 47, Umezu Takase-cho, Ukyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6158686 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KATO, Kenji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MATSUBARA, Yoshio [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TSUNODA, Takanori [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KATO, Kenji; (JP).
MATSUBARA, Yoshio; (JP).
TSUNODA, Takanori; (JP)
代理人: MATSUYAMA, Takao; Intelix International, Aqua Dojima West, 4-16, Dojimahama 1-chome, Kita-ku, Osaka-shi Osaka 5300004 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) PLASMA APPARATUS
(FR) APPAREIL À PLASMA
(JA) プラズマ装置
要約: front page image
(EN)Disclosed is a plasma apparatus having antennas (1 to 4) disposed in the interior of a reaction vessel (10) in such a way that one end of the antennas passes through a lid (12) of the reaction vessel (10) to connect with a flat plate member (31) and the other end passes through the lid (12) of the reaction vessel (10) to connect with a flat plate member (32). The flat plate members (31, 32) are disposed on the exterior of the reaction vessel (10) in such a way as to be substantially parallel with each other. A rectifier (60) is connected with the flat plate member (31), and a high-frequency power supply (70) is connected with the rectifier (60). The end of the flat plate member (32) on the same side as the end of the flat plate member (31) to which the rectifier (60) is connected is connected to the ground potential (GND).
(FR)L'invention porte sur un appareil à plasma qui comporte des antennes (1 à 4) qui sont agencées à l'intérieur d'une cuve de réaction (10) de telle manière qu'une extrémité des antennes passe à travers un couvercle (12) de la cuve de réaction (10) pour se connecter à un élément en plaque plate (31) et l'autre extrémité passe à travers le couvercle (12) de la cuve de réaction (10) pour se connecter à un élément en plaque plate (32). Les éléments en plaque plate (31, 32) sont agencés sur l'extérieur de la cuve de réaction (10) de façon à être sensiblement parallèles l'un à l'autre. Un redresseur (60) est connecté à l'élément en plaque plate (31), et une alimentation électrique haute fréquence (70) est connectée au redresseur (60). L'extrémité de l'élément en plaque plate (32), située du même côté que l'extrémité de l'élément en plaque plate (31) à laquelle le redresseur (60) est connecté, est connectée au potentiel de masse (GND).
(JA) アンテナ(1~4)は、一方端が反応容器(10)の蓋(12)を貫通して平板部材(31)に接続され、他方端が反応容器(10)の蓋(12)を貫通して平板部材(32)に接続されるように反応容器(10)の内部に配置される。平板部材(31,32)は、相互に略平行になるように反応容器(10)の外部に配置される。整合器(60)は、平板部材31に接続され、高周波電源(70)は、整合器(60)に接続される。平板部材32は、整合器(60)が接続される平板部材31の一方端と同じ側の一方端が接地電位(GND)に接続される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)