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1. (WO2010131485) 移動体装置、用力伝達装置、及び露光装置、並びにデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/131485    国際出願番号:    PCT/JP2010/003284
国際公開日: 18.11.2010 国際出願日: 14.05.2010
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
AOKI, Yasuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: AOKI, Yasuo; (JP)
代理人: TATEISHI, Atsuji; TATEISHI & CO., Karakida Center Bldg., 1-53-9, Karakida, Tama-shi, Tokyo 2060035 (JP)
優先権情報:
2009-118197 15.05.2009 JP
2009-118199 15.05.2009 JP
2009-118202 15.05.2009 JP
2009-118203 15.05.2009 JP
発明の名称: (EN) MOBILE APPARATUS, POWER TRANSMISSION APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL MOBILE, APPAREIL DE TRANSMISSION D'ENERGIE, APPAREIL D'EXPOSITION, ET PROCEDE DE FABRICATION DE DISPOSITIF
(JA) 移動体装置、用力伝達装置、及び露光装置、並びにデバイス製造方法
要約: front page image
(EN)Sub-stages (50, 70) are disposed on the +Y and −Y sides of a main stage (40) that supports a mask (M). The sub-stages can move in long strokes in the X direction, which is the scan direction. Fine movements of the main stage (40) with respect to the sub-stages (50, 70) in the Y direction, which is the cross-scan direction, are made using a voice coil motor that comprises: a Y movable element (44) that includes a magnet unit provided on the main stage (40); and a Y stationary element (88) that includes a coil unit provided on a sub-stage (50). Also, lock apparatuses (100a–100d) are used to connect the main stage (40) to the sub-stages (50, 70), in contact (or not in contact) with each. The main stage (40) is moved in the X direction by just driving the sub-stages (50, 70).
(FR)La présente invention concerne un procédé selon lequel des sous-étages (50, 70) sont disposés sur les côtés négatif et positif de l'axe des y d'un étage principal (40) qui assure le support d'un masque (M). Les sous-étages peuvent se déplacer dans de longues courses dans le sens de l'axe des x, qui est la direction de balayage. Des déplacements fins de l'étage principal (40) par rapport aux sous-étages, sont effectués au moyen d'un moteur à bobine mobile comportant : un élément mobile dans l'axe des y (44) qui comprend une unité d'aimant prévue sur l'étage principal (40) ; et un élément stationnaire dans l'axe des y (88) qui comprend une unité de bobine prévue sur un sous-étage (50). En outre, des appareils de verrouillage (100a-100d) sont utilisés pour connecter l'étage principal (40) aux sous-étages (50, 70), en contact (ou pas en contact) avec chaque sous-étage. L'étage principal (40) se déplace dans le sens de l'axe des x par le simple entraînement des sous-étages (50, 70).
(JA) マスク(M)を保持するメインステージ(40)の+Y側、-Y側それぞれに、スキャン方向であるX軸方向に長ストロークで移動可能なサブステージ(50,70)を配置する。メインステージ(40)に設けられた磁石ユニットを含むY可動子(44)と、サブステージ(50)に設けられたコイルユニットを含むY固定子(88)と、から成るボイスコイルモータを用いて、メインステージ(40)をサブステージ(50,70)に対してクロススキャン方向であるY軸方向に微少駆動する。一方、ロック装置(100a~100d)を用いてメインステージ(40)をサブステージ(50,70)それぞれに接触(又は非接触)状態で接続する。サブステージ(50,70)を駆動するだけで、メインステージ(40)をX軸方向に移動させる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)