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1. (WO2010131478) 流水式洗浄方法及び流水式洗浄装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/131478    国際出願番号:    PCT/JP2010/003269
国際公開日: 18.11.2010 国際出願日: 14.05.2010
IPC:
G11B 5/84 (2006.01), B08B 3/12 (2006.01)
出願人: SHOWA DENKO K.K. [JP/JP]; 13-9, Shibadaimon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058518 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SAKAGUCHI, Ryuji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OSHIMA, Norio [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
WANG, Zhipeng [CN/JP]; (JP) (米国のみ).
TANAKA, Ryo [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SAKAGUCHI, Ryuji; (JP).
OSHIMA, Norio; (JP).
WANG, Zhipeng; (JP).
TANAKA, Ryo; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
優先権情報:
2009-119003 15.05.2009 JP
発明の名称: (EN) FLOW-THROUGH WASHING METHOD AND FLOW-THROUGH WASHING APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE LAVAGE À ÉCOULEMENT CONTINU
(JA) 流水式洗浄方法及び流水式洗浄装置
要約: front page image
(EN)Disclosed are a flow-through washing method and a flow-through washing apparatus which efficiently remove dust sticking to the surface of a substrate and prevent dust from sticking to the surface of the substrate again after washing. The flow-through washing method runs washing liquid (L) inside a washing tank (2) in the lateral direction, and applies an ultrasonic vibration to the washing liquid (L) in a state in which an object (W) to be washed is immersed in this washing liquid (L), while washing this object (W). By regulating the flow rate of the washing liquid (L) flowing in any of the feed ports (3) and/or discharge ports (5) of a plurality of feed ports (3) which feed the washing liquid (L) to the washing tank (2) and plurality of discharge ports (5) which discharge washing liquid (L) from the washing tank (2), the washing liquid (L) inside the washing tank (2) can be set so as to run in a laminar flow state.
(FR)L'invention concerne un procédé et un appareil à écoulement continu qui éliminent efficacement la poussière collant à la surface d'un substrat et empêchent la poussière de coller de nouveau à la surface du substrat après le lavage. Le procédé de lavage à écoulement continu achemine le liquide de lavage (L) à l'intérieur d'une cuve de lavage (2) dans le sens latéral, et applique une vibration ultrasonique au liquide de lavage (L) dans un état dans lequel un objet (W) à laver est immergé dans ce liquide de lavage (L) pendant le lavage de cet objet (W). En régulant le débit du liquide de lavage(L) s'écoulant dans l'un quelconque des orifices d'alimentation (3) et/ou orifices d'évacuation (5) d'une pluralité d'orifices d'alimentation (3) qui alimentent la cuve de lavage (2) en liquide de lavage (L) et une pluralité d'orifices d'évacuation (5) qui évacuent le liquide de lavage (L) de la cuve de lavage (2), le liquide de lavage (L) à l'intérieur de la cuve de lavage (2) peut être ajusté de façon à s'écouler dans un état d'écoulement laminaire.
(JA) 基板の表面に付着した塵埃などを効率良く除去すると共に、洗浄後にこれらが基板の表面に再付着することを防止した流水式洗浄方法及び流水式洗浄装置を提供する。洗浄槽(2)内で洗浄液(L)を横方向に流し、この洗浄液(L)に被洗浄物(W)を浸漬させた状態で、洗浄液(L)に超音波振動を印加しながら、被洗浄物(W)の洗浄を行う流水式洗浄方法であって、洗浄槽(2)に洗浄液(L)を供給する複数の供給口(3)と、洗浄槽(2)から洗浄液(L)を排出する複数の排出口(5)とのうち、何れかの供給口(3)及び/又は排出口(5)を流れる洗浄液(L)の流量を調整することによって、洗浄槽(2)内の洗浄液(L)が層流の状態で流れるようにする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)