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1. (WO2010128597) 振動制御装置、振動制御方法、露光装置、及びデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/128597    国際出願番号:    PCT/JP2010/003133
国際公開日: 11.11.2010 国際出願日: 07.05.2010
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), F16F 15/04 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NISHINO, Hideaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SHIRASU, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NISHINO, Hideaki; (JP).
SHIRASU, Hiroshi; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
優先権情報:
2009-112559 07.05.2009 JP
発明の名称: (EN) VIBRATION CONTROL APPARATUS, VIBRATION CONTROL METHOD, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE PRODUCTION METHOD
(FR) DISPOSITIF DE CONTRÔLE DES VIBRATIONS, PROCÉDÉ DE CONTRÔLE DES VIBRATIONS, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
(JA) 振動制御装置、振動制御方法、露光装置、及びデバイス製造方法
要約: front page image
(EN)A vibration control apparatus suppresses vibrations of a structure affected by vibration. The vibration control apparatus is provided with a vibration-preventing apparatus (22) which supports the structure and suppresses vibration of less than or equal to a first amplitude from being transmitted in a predetermined vibration direction, and a vibration damping apparatus (26) which dampens, in the vibration direction, the vibration of the structure affected by vibration of a second amplitude higher than the first amplitude to vibration of less than or equal to the first amplitude.
(FR)L'invention concerne un dispositif de contrôle des vibrations, lequel permet de contrôler les vibrations d'une structure mise en vibrations. Ce dispositif de contrôle des vibrations soutient la structure, comporte un dispositif d'absorption des vibrations (22) qui supprime la transmission vers la structure de vibrations inférieures à une première amplitude, dans une direction de vibration déterminée, et un dispositif d'amortissement des vibrations (26) qui amortit dans une direction de vibration déterminée les vibrations de la structure mise en vibrations d'une deuxième amplitude supérieure à la première amplitude, les transformant en vibrations d'une amplitude inférieure à la première amplitude.
(JA) 振動制御装置は、加振された構造体の振動を抑制する。振動制御装置は、構造体を支持し、所定の振動方向に関する第1振幅以下の振動の構造体への伝達を抑制する防振装置(22)と、振動方向に関して第1振幅より大きな第2振幅で加振された構造体の振動を第1振幅以下の振動に減衰させる振動減衰装置(26)とを備えている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)