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1. (WO2010126089) 識別情報設定装置、および識別情報設定方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/126089    国際出願番号:    PCT/JP2010/057591
国際公開日: 04.11.2010 国際出願日: 28.04.2010
予備審査請求日:    28.02.2011    
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
出願人: CANON ANELVA CORPORATION [JP/JP]; 2-5-1, Kurigi, Asao-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2158550 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KOBAYASHI Hirohito [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KOBAYASHI Hirohito; (JP)
代理人: OKABE Yuzuru; No.602, Fuji Bldg., 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
優先権情報:
2009-109290 28.04.2009 JP
発明の名称: (EN) IDENTIFICATION INFORMATION SETTING DEVICE AND IDENTIFICATION INFORMATION SETTING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE RÉGLAGE D'INFORMATIONS D'IDENTIFICATION ET PROCÉDÉ DE RÉGLAGE D'INFORMATIONS D'IDENTIFICATION
(JA) 識別情報設定装置、および識別情報設定方法
要約: front page image
(EN)Provided are an identification information setting device and an identification information setting method that allow transfer chambers to be easily set with identification information. In one embodiment of this invention, a storage unit (31) stores preset field identification information for each position where transfer chambers can be placed, said transfer chambers having transfer robots. An acceptance unit (32) accepts information specifying the location in which a transfer chamber is actually being placed, and accepts information regarding said transfer chamber. The storage unit (31) stores a correspondence between identification information and the transfer chamber to be actually placed.
(FR)L'invention porte sur un dispositif de réglage d'informations d'identification et sur un procédé de réglage d'informations d'identification qui permettent de régler facilement des chambres de transfert avec des informations d'identification. Dans un mode de réalisation de cette invention, une unité de mémoire (31) mémorise des informations d'identification de champ préréglées pour chaque position où peuvent être placées des chambres de transfert, lesdites chambres de transfert possédant des robots de transfert. Une unité d'acceptation (32) accepte les informations spécifiant l'emplacement dans lequel une chambre de transfert est en fait placée, et accepte des informations concernant ladite chambre de transfert. L'unité de mémoire (31) mémorise une correspondance entre les informations d'identification et la chambre de transfert devant être effectivement placée.
(JA)本発明は、搬送チャンバに識別情報を容易に設定可能な識別情報設定装置、および識別情報設定方法を提供する。本発明の一実施形態では、格納部(31)は、搬送ロボットを有する搬送チャンバを配置可能な各位置に対し予め設定したフィールド識別情報を格納する。受付部(32)は、実際に搬送チャンバを配置させる位置及び当該搬送チャンバの情報を指定情報として、受け付ける。格納部(31)は、実際に配置させる搬送チャンバと識別情報との対応を格納する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)