処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

出願の表示

1. WO2010125909 - クリーニングシート、クリーニング機能付搬送部材、基板処理装置のクリーニング方法、および基板処理装置

公開番号 WO/2010/125909
公開日 04.11.2010
国際出願番号 PCT/JP2010/056587
国際出願日 13.04.2010
IPC
B08B 1/00 2006.01
B処理操作;運輸
08清掃
B清掃一般;汚れ防止一般
1工具,ブラシ,または類似部材の使用を含む方法による清掃
H01L 21/304 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30H01L21/20~H01L21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
304機械的処理,例.研摩,ポリシング,切断
CPC
B08B 1/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
08CLEANING
BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
1Cleaning by methods involving the use of tools, brushes, or analogous members
B08B 7/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
08CLEANING
BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
7Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
B08B 7/0028
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
08CLEANING
BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
7Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
0028by adhesive surfaces
C09J 7/22
CCHEMISTRY; METALLURGY
09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIAL AS ADHESIVES
7Adhesives in the form of films or foils
20characterised by their carriers
22Plastics; Metallised plastics
出願人
  • 日東電工株式会社 NITTO DENKO CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 宇圓田 大介 UENDA, Daisuke [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 宇圓田 大介 UENDA, Daisuke
代理人
  • 籾井 孝文 MOMII, Takafumi
優先権情報
2009-11061830.04.2009JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CLEANING SHEET, CONVEYANCE MEMBER WITH CLEANING FUNCTION, CLEANING METHOD OF SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
(FR) FEUILLE DE NETTOYAGE, ÉLÉMENT DE TRANSPORT PRÉSENTANT UNE FONCTION DE NETTOYAGE, PROCÉDÉ DE NETTOYAGE D'UN APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, ET APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) クリーニングシート、クリーニング機能付搬送部材、基板処理装置のクリーニング方法、および基板処理装置
要約
(EN)
Provided is a cleaning sheet which exhibits excellent foreign matter removal performance and conveyance performance and can especially remove foreign matters having a predetermined particle size efficiently, and also provided is a conveyance member with cleaning function. A cleaning sheet comprises a cleaning layer exhibiting substantially no adhesion wherein the cleaning layer has a protruding and recessed part in which the average surface roughness Ra is 0.10 μm or more, and also has the peel-off adhesion of the cleaning layer at an angle of 180° with respect to the mirror surface of a silicon wafer specified in JIS-Z-0237 is less than 0.20 N/10 mm. A conveyance member with cleaning function comprises a conveyance member, and the inventive cleaning layer provided at least on one side of the conveyance member.
(FR)
L'invention concerne une feuille de nettoyage présentant d'excellentes performances en matière d'enlèvement de matières étrangères et de transport et pouvant en particulier enlever de manière efficace des matières étrangères présentant une taille de particule prédéterminée. L'invention concerne également un élément de transport présentant une fonction de nettoyage. La feuille de nettoyage comprend une couche de nettoyage sensiblement non adhérente, présentant une partie saillante et renfoncée dont la rugosité de surface moyenne Ra est de 0,10 μm ou plus, la force de pelage de la couche de nettoyage à un angle de 180° par rapport à la surface du miroir d'une tranche de silicium mentionnée dans le document JIS-Z-0237 étant inférieure à 0,20 N/10 mm. L'élément de transport présentant une fonction de nettoyage comprend un élément de transport, la couche de nettoyage selon l'invention étant agencée au moins sur un côté de l'élément de transport.
(JA)
 異物除去性能および搬送性能に優れ、かつ、所定の粒子径を有する異物を特に効率よく除去し得るクリーニングシートおよびクリーニング機能付搬送部材を提供する。 本発明のクリーニングシートは、実質的に粘着力を有さないクリーニング層を備えるクリーニングシートであって、該クリーニング層は、平均表面粗さRaが0.10μm以上である凹凸形状部分を有し、該クリーニング層は、シリコンウェハのミラー面に対する、JIS-Z-0237で規定される180°引き剥がし粘着力が0.20N/10mm未満である。本発明のクリーニング機能付搬送部材は、搬送部材と、該搬送部材の少なくとも片面に設けられた本発明のクリーニング層とを備える。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報