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1. (WO2010125836) 光照射装置の光照射方法及び光照射装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/125836    国際出願番号:    PCT/JP2010/051013
国際公開日: 04.11.2010 国際出願日: 27.01.2010
IPC:
G02F 1/13 (2006.01), G02F 1/1339 (2006.01), G02F 1/1341 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ENDOU, Shigeru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HATANO, Norihiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KADOWAKI, Tetsuji [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: ENDOU, Shigeru; (JP).
HATANO, Norihiko; (JP).
KADOWAKI, Tetsuji; (JP)
代理人: ONDA, Hironori; 12-1, Ohmiya-cho 2-chome, Gifu-shi, Gifu 5008731 (JP)
優先権情報:
2009-110135 28.04.2009 JP
2009-110136 28.04.2009 JP
発明の名称: (EN) LIGHT IRRADIATION METHOD FOR LIGHT IRRADIATION DEVICE AND LIGHT IRRADIATION DEVICE
(FR) PROCÉDÉ D'IRRADIATION DE LUMIÈRE POUR DISPOSITIF D'IRRADIATION DE LUMIÈRE ET DISPOSITIF D'IRRADIATION DE LUMIÈRE
(JA) 光照射装置の光照射方法及び光照射装置
要約: front page image
(EN)Provided is a light irradiation method for irradiating a linear light beam (LB) from a light irradiation device including a plurality of optical elements (LED) arrayed in one direction (X). The light irradiation method comprises generating a linear light beam having light irradiation faces (SF) extending in the direction (X) by irradiating a beam having an elongated elliptical irradiation area (T) from each optical element (LED) and superimposing the irradiation areas; opposing the irradiation faces (SF) of the linear light beam to a linear photo-curable resin (S) formed on a substrate (P) along the direction (X); irradiating the linear light beam onto the linear photo-curable resin (S); and relatively moving one of the irradiation face (SF) of the linear light beam and the substrate (P) in the direction (X), while the linear light beam is irradiated onto the linear photo-curable resin.
(FR)L'invention porte sur un procédé d'irradiation de lumière pour irradier un faisceau de lumière linéaire (LB) à partir d'un dispositif d'irradiation de lumière comprenant une pluralité d'éléments optiques (DEL) disposés en réseau dans une direction (X). Le procédé d'irradiation de lumière comprend la génération d'un faisceau de lumière linéaire ayant des faces d'irradiation de lumière (SF) s'étendant dans la direction (X) par irradiation d'un faisceau ayant une aire d'irradiation elliptique allongée (T) à partir de chaque élément optique (DEL) et superposition des aires d'irradiation ; l'opposition des faces d'irradiation (SF) du faisceau de lumière linéaire à une résine photodurcissable linéaire (S) formée sur un substrat (P) le long de la direction (X) ; l'irradiation du faisceau de lumière linéaire sur la résine photodurcissable linéaire (S) ; et le déplacement relatif de l'une de la face d'irradiation (SF) du faisceau de lumière linéaire et du substrat (P) dans la direction (X), tandis que le faisceau de lumière linéaire est irradié sur la résine photodurcissable linéaire.
(JA) 一方向(X)に沿って配列された複数の光学素子(LED)を含む光照射装置から直線状ビーム光(LB)を照射する方法であって、各光学素子(LED)から長楕円形状の照射領域(T)を有する光を照射して各照射領域(T)を重ねることにより、一方向(X)に沿って延びる光照射面(SF)を有する直線状ビーム光を生成すること、基板(P)に形成された直線状の光硬化性樹脂(S)に対して、直線状ビーム光の光照射面(SF)を一方向(X)に沿って対峙させる こと、直線状ビーム光を直線状の光硬化性樹脂(S)に照射すること、直線状ビーム光を直線状の光硬化性樹脂に照射する間、直線状ビーム光の光照射面(SF)と基板(P)とのうちの一方を一方向(X)に沿って相対移動させることを特徴としたもの。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)