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1. WO2010125801 - ZnO-Ga系スパッタリングターゲット用焼結体及びその製造方法

国内段階移行に関する情報(詳細)
官庁移行日国内番号国内ステータス
中華人民共和国 27.04.2010201080002918.X
日本 03.03.20112011511309
大韓民国 08.06.20111020117013070Published: 20.07.2011
Granted: 31.05.2013
アメリカ合衆国 21.10.201113265572Published: 16.02.2012
ドイツ 01.11.20111120100018731
ドイツ 01.11.2011112010001873Published: 09.08.2012
ロシア連邦 01.12.20112011148899Published: 10.06.2013