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1. (WO2010125669) 質量分析用イオン検出装置、イオン検出方法、およびイオン検出装置の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/125669    国際出願番号:    PCT/JP2009/058462
国際公開日: 04.11.2010 国際出願日: 30.04.2009
IPC:
H01J 49/06 (2006.01), G01T 1/28 (2006.01), H01J 43/06 (2006.01)
出願人: CANON ANELVA CORPORATION [JP/JP]; 2-5-1, Kurigi, Asao-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2158550 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAKAMURA Megumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SHIOKAWA Yoshiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
PENG Qiang [CN/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAKAMURA Megumi; (JP).
SHIOKAWA Yoshiro; (JP).
PENG Qiang; (JP)
代理人: OKABE Masao; No. 602, Fuji Bldg. , 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) ION DETECTION DEVICE FOR MASS ANALYSIS, ION DETECTION METHOD, AND PRODUCTION METHOD FOR ION DETECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE DÉTECTION D'ION POUR ANALYSE DE MASSE, PROCÉDÉ DE DÉTECTION D'ION ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION POUR DISPOSITIF DE DÉTECTION D'ION
(JA) 質量分析用イオン検出装置、イオン検出方法、およびイオン検出装置の製造方法
要約: front page image
(EN)Provided are an ion detection device, an ion detection method, and a production method for the ion detection device, wherein the effect of an electric field to bring ions to be detected toward a first-stage electrode of a secondary electron multiplier is improved and the effect of stray-light reduction is also improved.  The ion detection device includes the secondary electron multiplier which includes a plurality of electrodes, and a bring-in electrode which brings ions toward the first-stage electrode of the secondary electron multiplier.  When ions are brought into the ion detection device, at least either the area of the bring-in electrode or the difference in potential between the bring-in electrode and an electrode that is disposed around the bring-in electrode and the secondary electron multiplier does not have is set so that the intensity of internal stray-light that is produced inside the ion detection device and falls on the first-stage electrode is below the intensity of external stray-light that is produced outside the ion detection device and falls on the first-stage electrode.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de détection d'ion, un procédé de détection d'ion et un procédé de production pour ledit dispositif de détection d'ion. Ceci permet d'améliorer l'effet d'un champ électrique, destiné à amener des ions devant être détectés vers une électrode de premier étage d'un multiplicateur d'électron secondaire, ainsi que l'effet de la réduction de lumière diffuse. Le dispositif de détection d'ion comprend ledit multiplicateur d'électron secondaire qui comporte une pluralité d'électrodes, et une électrode d'introduction qui dirige les ions vers l'électrode de premier étage du multiplicateur d'électron secondaire. Lorsque des ions sont dirigés dans le dispositif de détection d'ion, la zone de l'électrode d'introduction et/ou la différence de potentiel entre l'électrode d'introduction et une électrode disposée autour de l'électrode d'introduction et séparée du multiplicateur d'électron secondaire sont réglées de manière à ce que l'intensité de la lumière diffuse interne – qui est produite à l'intérieur du dispositif de détection d'ion et tombe sur l'électrode de premier étage – soit inférieure à l'intensité de la lumière diffuse externe qui est produite à l'extérieur du dispositif de détection d'ion et tombe sur l'électrode de premier étage.
(JA)本発明は、検出すべきイオンを2次電子増倍管の初段電極へと引き込むための電界の効果を向上しつつ、迷光低減の効果を向上可能なイオン検出装置、イオン検出方法、およびイオン検出装置の製造方法を提供する。本発明に一実施形態では、複数の電極を有する2次電子増倍管とイオンを2次電子増倍管の初段電極側へと引き込むための引き込み電極とを備えるイオン検出装置である。該イオン検出装置にイオンを導入する際に、イオン検出装置の内部で発生した内部迷光の初段電極に入射する光量が、イオン検出装置の外部で発生した外部迷光の初段電極に入射する光量以下となるように、引き込み電極の面積および引き込み電極と該引き込み電極の周辺の電極であって2次電子増倍管が有する電極ではない周辺の電極との間の電位差の少なくとも一方が設定されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)