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1. (WO2010125664) 剥離液及び対象物洗浄方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/125664    国際出願番号:    PCT/JP2009/058454
国際公開日: 04.11.2010 国際出願日: 30.04.2009
IPC:
H01L 21/304 (2006.01)
出願人: Aqua Science Corporation [JP/JP]; German Center, 1-18-2, Hakusan, Midori-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2260006 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HAYASHIDA Atsushi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SEKI Akiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HAYASHIDA Atsushi; (JP).
SEKI Akiko; (JP)
代理人: ITOH Atsushi; Shindo Building 2F, 1-1, Shinkawa 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040033 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) PEELING LIQUID AND METHOD FOR CLEANING OBJECT
(FR) LIQUIDE DE DÉCOLLEMENT ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE D'OBJET
(JA) 剥離液及び対象物洗浄方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is a peeling liquid that can reliably peel and remove a polymer residue deposited on a via hole side wall or an aluminum wiring side wall without damage to or dissolution of the structure of an integrated circuit while minimizing an influence on environment and particularly without damage to a via hole or an aluminum wiring as a cleaning object. The peeling liquid for side wall protective film removal for peeling a polymer residue as an object is an aqueous solution that comprises a chelate-forming polycarboxylic acid having a saturated or unsaturated carbon chain having 0 to 2 carbon atoms between carboxyl groups and is substantially free from an anticorrosive agent and a water soluble organic solvent.
(FR)L'invention porte sur un liquide de décollement qui peut décoller et éliminer de façon fiable un résidu polymère déposé sur une paroi latérale d'un trou d'interconnexion ou sur une paroi latérale d'un câblage en aluminium sans endommager ni dissoudre la structure d'un circuit intégré tout en réduisant à un minimum l'influence sur l'environnement et en particulier sans endommager un trou d'interconnexion ou un câblage en aluminium en tant qu'objet de nettoyage. Le liquide de décollement pour élimination de film protecteur de paroi latérale pour le décollement d'un résidu polymère en tant qu'objet est une solution aqueuse qui comporte un acide poly-carboxylique formant un chélate possédant une chaîne de carbone saturée ou insaturée ayant de 0 à 2 atomes de carbone entre les groupes carboxyles et qui est sensiblement exempt d'agent anticorrosion et de solvant organique soluble dans l'eau.
(JA)【課題】 集積回路の構造を損傷又は溶解すること無くかつ環境への影響を最小限にとどめると共に、特に、洗浄対象物のビアホールやアルミニウム配線を損傷すること無く、ビアホール側壁やアルミニウム配線側壁に付着したポリマ残渣を確実に剥離して除去する手段の提供。 【解決手段】 カルボキシル基とカルボキシル基の間に炭素数0~2の飽和又は不飽和の炭素鎖を含むキレート形成可能なポリカルボン酸を含む、防食剤及び水溶性有機溶媒を実質的に含有しない水溶液からなる、対象物のポリマ残渣を剥離するための側壁保護膜除去用剥離液。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)