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1. WO2010119894 - 出来映え予測装置、出来映え予測方法、出来映え予測プログラム、及び、プログラム記録媒体

公開番号 WO/2010/119894
公開日 21.10.2010
国際出願番号 PCT/JP2010/056680
国際出願日 14.04.2010
IPC
H01L 21/02 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
CPC
G05B 19/41875
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19Programme-control systems
02electric
418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
41875characterised by quality surveillance of production
G05B 2219/32194
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
32Operator till task planning
32194Quality prediction
G05B 2219/32366
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
32Operator till task planning
32366Line performance evaluation
G05B 2219/34477
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
34Director, elements to supervisory
34477Fault prediction, analyzing signal trends
G05B 2219/45031
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
45Nc applications
45031Manufacturing semiconductor wafers
Y02P 90/02
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
90Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
出願人
  • シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 千葉 周一郎 CHIBA, Shuichiro (UsOnly)
  • 山中 秀一 YAMANAKA, Hidekazu (UsOnly)
発明者
  • 千葉 周一郎 CHIBA, Shuichiro
  • 山中 秀一 YAMANAKA, Hidekazu
代理人
  • 田中 光雄 TANAKA, Mitsuo
優先権情報
2009-09773014.04.2009JP
2009-24468923.10.2009JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) WORKMANSHIP PREDICTION APPARATUS, WORKMANSHIP PREDICTION METHOD, WORKMANSHIP PREDICTION PROGRAM, AND PROGRAM RECORDING MEDIUM
(FR) APPAREIL DE PRÉDICTION DE QUALITÉ DE FABRICATION, PROCÉDÉ DE PRÉDICTION DE QUALITÉ DE FABRICATION, PROGRAMME DE PRÉDICTION DE QUALITÉ DE FABRICATION ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT DE PROGRAMME
(JA) 出来映え予測装置、出来映え予測方法、出来映え予測プログラム、及び、プログラム記録媒体
要約
(EN)
A workmanship prediction apparatus ensures stable update of regression coefficient even if there is collinearity between explanatory variables and can improve the accuracy of prediction of workmanship. A prediction module (17) obtains a workmanship calculation value (20) on the basis of process data (15) collected by a process data collection unit (16). A correction module (18) multiplies the workmanship calculation value (20) by a correction factor (24) to calculate a corrected workmanship calculation value (25) and adds a difference value (21)between devices thereto to obtain a workmanship prediction value (23). Thereafter, a correction factor correction unit (22) calculates the correction factor (24) from a workmanship actual measurement value (19) and the workmanship prediction value (23) and corrects the correction factor (24). Thus, correction of a prediction expression used by the correction module (18) is performed by correcting only the correction factor (24). Therefore, update of the regression coefficient becomes stable even if there is collinearity between explanatory variables, and destabilization of the regression coefficient which is caused by the collinearity between explanatory variables and deterioration of the prediction accuracy can be prevented, whereby the prediction accuracy can be improved.
(FR)
L'invention porte sur un appareil de prédiction de qualité de fabrication qui permet une mise à jour stable d'un coefficient de régression même s'il y a une colinéarité entre des variables explicatives et peut permettre d'améliorer la précision de prédiction de qualité de fabrication. Un module de prédiction (17) obtient une valeur de calcul de qualité de fabrication (20) sur la base de données de procédé (15) collectées par une unité de collecte de données de procédé (16). Un module de correction (18) multiplie la valeur de calcul de qualité de fabrication (20) par un facteur de correction (24) pour calculer une valeur de calcul de qualité de fabrication corrigée (25) et y ajoute une valeur de différence (21) entre des dispositifs pour obtenir une valeur de prédiction de qualité de fabrication (23). Ensuite, une unité de correction de facteur de correction (22) calcule le facteur de correction (24) à partir d'une valeur de mesure réelle de qualité de fabrication (19) et de la valeur de prédiction de qualité de fabrication (23) et corrige le facteur de correction (24). Ainsi, une correction d'une expression de prédiction utilisée par le module de correction (18) est validée par correction uniquement du facteur de correction (24). Ainsi, une mise à jour du coefficient de régression devient stable même s'il y a une colinéarité entre des variables explicatives, et une déstabilisation du coefficient de régression qui est provoquée par la colinéarité entre des variables explicatives et une détérioration de la précision de prédiction peut être empêchée, ce par quoi la précision de prédiction peut être améliorée.
(JA)
 説明変数間に共線性があっても回帰係数の更新が安定し、出来映えの予測精度を向上できる。予測モジュール(17)は、プロセスデータ収集部(16)が収集したプロセスデータ(15)に基づいて出来映え算出値(20)を求める。補正モジュール(18)は、上記出来映え算出値(20)と補正係数(24)とを乗算して補正後出来映え算出値(25)を算出し、さらに装置間差値(21)を加算して出来映え予測値(23)を求める。その後、補正係数修正部(22)によって、出来映えの実測値(19)と上記出来映え予測値(23)とから補正係数(24)を算出して修正する。このように、補正モジュール(18)が用いる予測式の修正を、上記補正係数(24)のみを修正して行っている。そのため、説明変数間に共線性を有する場合でも回帰係数の更新が安定し、上記説明変数間の共線性に起因する回帰係数の不安定化と予測の精度の劣化を防ぐことができ、予測精度を向上させることができる。
他の公開
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