(EN) A treatment device equipped with a treatment vessel for treating an object to be treated, the treatment device comprising: a gas supply passage for supplying a corrosive gas comprising a halogen to the treatment vessel, at least some of the passage being constituted of a metal; a stabilization reaction part which has an energy generator for supplying light energy or heat energy to the corrosive gas that has passed through the metallic part of the gas supply passage and/or has an obstacle disposed so that the corrosive gas that has passed through the metallic part of the gas supply passage hits thereagainst to thereby generate impact energy that acts on the corrosive gas, and in which a reaction for stabilizing a compound containing the halogen, which is contained in the corrosive gas, and the metal takes place by means of at least one of the light energy, heat energy, and impact energy; and a trapping means which traps the compound stabilized in the stabilization reaction part.
(FR) L'invention concerne un dispositif de traitement comprenant un récipient de traitement pour traiter un objet devant être traité, le dispositif de traitement comprenant : un passage d'alimentation en gaz pour fournir un gaz corrosif comprenant un halogène au récipient de traitement, au moins une partie du passage étant constituée d'un métal ; une partie de réaction de stabilisation comportant un générateur d'énergie pour fournir de l'énergie lumineuse ou de l'énergie thermique au gaz corrosif ayant traversé la partie métallique du passage d'alimentation en gaz et/ou comportant un obstacle disposé de telle sorte que le gaz corrosif ayant traversé la partie métallique du passage d'alimentation en gaz frappe contre celui-ci pour générer ainsi une énergie d'impact agissant sur le gaz corrosif, et dans lequel une réaction pour stabiliser un composé contenant l'halogène, contenu dans le gaz corrosif, et le métal est effectuée au moyen de l'énergie lumineuse et/ou de l'énergie thermique et/ou de l'énergie d'impact ; et un moyen de piégeage piégeant le composé stabilisé dans la partie de réaction de stabilisation.
(JA) 被処理体に対して処理を行うための処理容器を備えた処理装置は、少なくとも一部が金属により構成され、ハロゲンを含む腐食性ガスを前記処理容器に供給するためのガス供給流路と、前記ガス供給流路における金属部分を通流した前記腐食性ガスに光エネルギーまたは熱エネルギーを供給するエネルギー発生器、および前記ガス供給流路における金属部分を通流した前記腐食性ガスを衝突させることにより前記腐食性ガスに作用する衝突エネルギーを発生させるように設けられた障害物のうちの少なくとも一つを有し、前記光エネルギー、熱エネルギーおよび衝突エネルギーのうちの少なくとも一つにより前記腐食性ガスに含まれるハロゲンと前記金属とを含む化合物を安定化させる反応が行われる安定化反応処理部と、前記安定化反応処理部において安定化された化合物を捕捉する捕捉手段と、を備える。