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1. WO2010113485 - 保持装置、搬送装置及び回転伝達装置

公開番号 WO/2010/113485
公開日 07.10.2010
国際出願番号 PCT/JP2010/002330
国際出願日 30.03.2010
IPC
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
B25J 15/08 2006.01
B処理操作;運輸
25手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
Jマニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
15把持部
08指部材を有するもの
B65G 49/07 2006.01
B処理操作;運輸
65運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;作業場コンベヤシステムまたは気体式チューブコンベヤ
49他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
05もろい,または損傷性材料または物品用のもの
07半導体ウェハーのためのもの
CPC
H01L 21/67742
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67739into and out of processing chamber
67742Mechanical parts of transfer devices
H01L 21/6875
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
683for supporting or gripping
687using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
68714the wafers being placed on a susceptor, stage or support
6875characterised by a plurality of individual support members, e.g. support posts or protrusions
H01L 21/68757
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
683for supporting or gripping
687using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
68714the wafers being placed on a susceptor, stage or support
68757characterised by a coating or a hardness or a material
出願人
  • 株式会社アルバック ULVAC, INC. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 藤倉化成株式会社 FUJIKURA KASEI CO.,LTD. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 学校法人慶應義塾 KEIO UNIVERSITY [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 武者和博 MUSHA, Kazuhiro [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 南展史 MINAMI, Hirofumi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 安齊秀伸 ANZAI, Hidenobu [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 櫻井宏治 SAKURAI, Koji [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 青山藤詞郎 AOYAMA, Tojiro [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 柿沼康弘 KAKINUMA, Yasuhiro [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 武者和博 MUSHA, Kazuhiro
  • 南展史 MINAMI, Hirofumi
  • 安齊秀伸 ANZAI, Hidenobu
  • 櫻井宏治 SAKURAI, Koji
  • 青山藤詞郎 AOYAMA, Tojiro
  • 柿沼康弘 KAKINUMA, Yasuhiro
代理人
  • 大森純一 OMORI, Junichi
優先権情報
2009-08747931.03.2009JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) HOLDING APPARATUS, TRANSFER APPARATUS, AND ROTATION TRANSMITTING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE RETENUE, APPAREIL DE TRANSFERT ET APPAREIL DE TRANSMISSION DE ROTATION
(JA) 保持装置、搬送装置及び回転伝達装置
要約
(EN)
Provided is a holding apparatus which can stably hold a subject to be held by suppressing influences due to a shape change of a subject to be held and fluctuation of holding mode. A transfer apparatus and a rotation transmitting apparatus are also provided. The transfer apparatus is provided with a hand (4), and a holding body (5) provided on the hand (4). The holding body (5) includes a holding member (7) which has a holding surface that adheres on the subject to be held and can hold, on the holding surface, the subject to be transferred, and a viscoelastic member (6) composed of a viscoelastic material which bonds together the hand (4) and the holding member (7). In the transfer apparatus (1), since the viscoelastic member (6) viscoelastically deforms, the entire surface of the holding member (7) adheres on the subject to be held, and the subject to be transferred can be held on the hand (4).
(FR)
L'invention concerne un appareil de retenue qui peut retenir de manière stable un sujet destiné à être retenu par suppression des influences dues à une modification de forme d'un sujet à retenir et à une fluctuation de mode de retenue. L'invention concerne également un appareil de transfert et un appareil de transmission de rotation. L'appareil de transfert présente un élément de préhension (4) et un corps de retenue (5) présent sur l'élément de préhension (4). Le corps de retenue (5) comprend un élément de retenue (7) qui présente une surface de retenue qui adhère sur le sujet à retenir et peut retenir, sur la surface de retenue, le sujet à transférer, ainsi qu'un élément viscoélastique (6) constitué d'une matière viscoélastique qui relie l'élément de préhension (4) et l'élément de retenue (7). Dans l'appareil de transfert (1), étant donné que l'élément viscoélastique (6) se déforme de manière viscoélastique, la surface entière de l'élément de retenue (7) adhère sur le sujet à retenir, et le sujet à transférer peut être retenu sur l'élément de préhension (4).
(JA)
【課題】対象物の形状変化や保持態様の変動による影響を抑えて、対象物を安定に保持することが可能な保持装置、搬送装置及び回転伝達装置を提供すること。 【解決手段】本発明に係る搬送装置は、ハンド(4)と、ハンド(4)上に設けられた保持体(5)とを具備する。保持体(5)は、保持対象物に密着する保持面を有し保持面で搬送対象物を保持可能な保持部材(7)と、ハンド(4)と保持部材(7)とを相互に接合する粘弾性材料からなる粘弾性部材(6)とを含む。 搬送装置(1)は、粘弾性部材(6)が弾性変形することにより、保持部材(7)の全面が保持対象物に密着して、搬送対象物をハンド(4)上に保持することが可能である。
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