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1. WO2010073287 - 赤外線センサおよび赤外線センサの製造方法

公開番号 WO/2010/073287
公開日 01.07.2010
国際出願番号 PCT/JP2008/003886
国際出願日 22.12.2008
予備審査請求日 23.02.2010
IPC
G01J 1/02 2006.01
G物理学
01測定;試験
J赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
1測光,例.写真の露出計
02細部
H01L 27/14 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
271つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置
14赤外線,可視光,短波長の電磁波または粒子線輻射に感応する半導体構成部品で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御するかのどちらかに特に適用されるもの
H01L 37/02 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
37異種材料の接合を持たない熱電装置;熱磁気装置,例.ネルンスト・エッチングハウゼン効果を利用するもの;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02誘電率の温度変化を利用するもの,例.キューリー温度の上下で作動するもの
CPC
G01J 5/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
G01J 5/0205
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
0205Mechanical elements; Supports for optical elements
G01J 5/023
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
0225Shape of the cavity itself or of elements contained in or suspended over the cavity
023Particular leg structure or construction or shape; Nanotubes
G01J 5/024
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
0225Shape of the cavity itself or of elements contained in or suspended over the cavity
024Special manufacturing steps or sacrificial layers or layer structures
G01J 5/08
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
08Optical features
G01J 5/0809
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
08Optical features
0803Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, gratings, holograms, cubic beamsplitters, prisms, particular coatings
0809using plane or convex mirrors, parallel phase plates or particular reflectors
出願人
  • パイオニア株式会社 PIONEER CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 藤本健二郎 FUJIMOTO, Kenjiro [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 前田孝則 MAEDA, Takanori [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 河野高博 KAWANO, Takahiro [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 藤本健二郎 FUJIMOTO, Kenjiro
  • 前田孝則 MAEDA, Takanori
  • 河野高博 KAWANO, Takahiro
代理人
  • 落合 稔 OCHIAI, Minoru
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) INFRARED SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING INFRARED SENSOR
(FR) CAPTEUR À INFRAROUGES ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN CAPTEUR À INFRAROUGES
(JA) 赤外線センサおよび赤外線センサの製造方法
要約
(EN)
Provided are an infrared sensor capable of achieving improved detection sensitivity and being easily manufactured in high yield and a method for manufacturing the same. The infrared sensor is provided with a substrate (2), a projecting base material section (3) provided in a projecting manner on the substrate (2) and extending in the direction of incidence of infrared light and an infrared detection section (5) provided on the side surface of at least the upper portion of the projecting base material section (3). The projecting base material section (3) is constituted by assembling plural element base material parts (4) composed of plural rib-shaped vertical base material parts (4a) and plural rib-shaped horizontal base material parts (4b) in a grid pattern.
(FR)
L'invention concerne un capteur à infrarouges capable d'atteindre une sensibilité de détection améliorée, et facile à fabriquer en grande série, ainsi qu'un procédé pour sa fabrication. Le capteur à infrarouges est doté d'un substrat (2), d'une section saillante (3) en matériau de base aménagée de manière saillante sur le substrat (2) et s'étendant dans la direction d'incidence d'une lumière infrarouge, et d'une section (5) de détection d'infrarouges aménagée sur la surface latérale de la partie supérieure au moins de la section saillante (3) en matériau de base. La section saillante (3) en matériau de base est constituée en assemblant une pluralité de pièces élémentaires (4) en matériau de base composées d'une pluralité de pièces verticales (4a) en matériau de base en forme de nervures et d'une pluralité de pièces horizontales (4b) en matériau de base en forme de nervures selon un motif en quadrillage.
(JA)
 検出感度を向上させることができる共に、歩留り良く簡単に製造することができる赤外線センサおよびその製造方法を提供する。 基板2と、基板2上に突設され赤外線の入射方向に延在する突出基材部3と、突出基材部3の少なくとも上部側面に設けられた赤外線検出部5と、を備え、突出基材部3は、リブ状の複数の縦基材部4aとリブ状の複数の横基材部4bとから成る複数の要素基材部4を格子状に組んで構成されている。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報