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1. WO2010071209 - 検査装置

公開番号 WO/2010/071209
公開日 24.06.2010
国際出願番号 PCT/JP2009/071183
国際出願日 18.12.2009
IPC
G01N 21/892 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84特殊な応用に特に適合したシステム
88きず,欠陥,または汚れの存在の調査
89動いている材料,例.紙・織物,の中の
892調査されるきず,欠陥,または対象物の特質に特徴付けられるもの
CPC
G01N 21/8901
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
89in moving material, e.g. running paper or textiles
8901Optical details; Scanning details
G01N 21/892
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
89in moving material, e.g. running paper or textiles
892characterised by the flaw, defect or object feature examined
出願人
  • 富士フイルム株式会社 FUJIFILM Corporation [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 守本隆史 MORIMOTO Takashi [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 守本隆史 MORIMOTO Takashi
代理人
  • 千葉剛宏 CHIBA Yoshihiro
優先権情報
2008-32399519.12.2008JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION
(JA) 検査装置
要約
(EN)
An inspection device (64) includes: an illumination unit (70) which applies an illumination light (L) having an incident angle set to the Brewstar angle (B) to an object (18) to be inspected and having a light transmission layer (22); a polarizer (82) which transmits only the P-polarized component of the illumination light (L) reflected by the object (18) to be inspected; and a light reception unit (86) which receives the P-polarized component which has passed through the polarizer (82).  The state of the light transmission layer (22) is checked according to the light reception amount of the P-polarized component received by the light reception unit (86).
(FR)
L'invention porte sur un dispositif d'inspection (64) qui comprend : une unité d'éclairage (70) qui applique une lumière d'éclairage (L) présentant ayant un angle incident réglé sur l'angle de Brewstar (B), vers un objet (18) devant être inspecté, et comportant une couche de transmission de lumière (22) ; un polariseur (82) qui transmet uniquement la composante à polarisation P de la lumière d'éclairage (L) réfléchie par l'objet (18) devant être inspecté ; et une unité de réception de lumière (86) qui reçoit la composante à polarisation P qui est passée à travers le polariseur (82). L'état de la couche de transmission de lumière (22) est vérifié en fonction de la quantité de réception de lumière de la composante à polarisation P reçue par l'unité de réception de lumière (86).
(JA)
 検査装置(64)は、光透過層(22)を有する被検査物(18)に対して、入射角がブリュースター角(B)に設定された照明光(L)を照射する照明部(70)と、前記被検査物(18)によって反射された前記照明光(L)のP偏光成分のみを通過させる偏光子(82)と、前記偏光子(82)を通過した前記P偏光成分を受光する受光部(86)とを備え、前記受光部(86)により受光した前記P偏光成分の受光量に基づき、前記光透過層(22)の状態を検査する。
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