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1. WO2010070755 - TFTアレイ検査方法およびTFTアレイ検査装置

公開番号 WO/2010/070755
公開日 24.06.2010
国際出願番号 PCT/JP2008/073078
国際出願日 18.12.2008
IPC
G01R 31/00 2006.01
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
CPC
G01R 31/305
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
302Contactless testing
305using electron beams
出願人
  • 株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 野田 陽 NODA, Akira [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 野田 陽 NODA, Akira
代理人
  • 塩野入 章夫 SHIONOIRI, Akio
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) TFT ARRAY INSPECTING METHOD, AND TFT ARRAY INSPECTING DEVICE
(FR) PROCÉDÉ D'INSPECTION DE RÉSEAU DE TFT, ET DISPOSITIF D'INSPECTION DE RÉSEAU TFT
(JA) TFTアレイ検査方法およびTFTアレイ検査装置
要約
(EN)
Provided is a TFT array inspecting method, which comprises a step of irradiating a plurality of dots in one of TFT arrays with an electron beam and detecting secondary electrons from each dot, thereby to acquire the signal intensity of each dot, a step of disassembling the data of the acquired signal intensity of the TFT array into a plurality of channels determined on the basis of a periodic structure owned by the TFT array, a step of calculating a moving average and a moving standard deviation of the signal intensity for each of the disassembled channels and normalizing the deviation of the signal intensity of each dot in the channel from the moving average, with a moving standard deviation value, thereby to calculate the defectiveness of each dot for each channel, a step of integrating the defectivenesses calculated for the individual channels, thereby to acquire the distribution of the defectivenesses at the dot unit for a TFT substrate, and a step of detecting the defect of the TFT array on the basis of the defectiveness distribution. The TFT array inspecting method reduces the error detection of defects due to the influences resulting from the structure of the TFT array such as a gate line.
(FR)
L'invention porte sur un procédé d'inspection de réseau de transistor à couches minces (TFT), qui comprend une étape d'irradiation d'une pluralité de points dans l'un des réseaux de TFT par un faisceau d'électrons et de détection d'électrons secondaires à partir de chaque point, pour ainsi acquérir l'intensité de signal de chaque point, une étape de désassemblage des données de l'intensité de signal acquise du réseau de TFT en une pluralité de canaux déterminés sur la base d'une structure périodique possédée par le réseau de TFT, une étape de calcul d'une moyenne mobile et d'un écart type mobile de l'intensité de signal pour chacun des canaux désassemblés et de normalisation de l'écart de l'intensité de signal de chaque point dans le canal à partir de la moyenne mobile, avec une valeur d'écart type mobile, pour ainsi calculer le caractère défectueux de chaque point pour chaque canal, une étape d'intégration des caractères défectueux calculés pour les canaux individuels, pour ainsi acquérir la distribution des caractères défectueux au niveau de l'unité de point pour un substrat TFT, et une étape de détection du défaut du réseau de TFT sur la base de la distribution des caractères défectueux. Le procédé d'inspection de réseau de TFT réduit la détection d'erreur de défauts en raison des influences résultant de la structure de réseau de TFT, telles qu'une ligne de grille.
(JA)
TFTアレイ検査において、TFTアレイの一TFTアレイ内の複数のドットに電子ビームを照射して各ドットから二次電子を検出し、各ドットの信号強度値を取得する工程と、取得したTFTアレイの信号強度値のデータをTFTアレイが備える周期構造に基づいて定めた複数のチャンネルに分解する工程と、分離した各チャンネルにおいて、信号強度値の移動平均値および移動標準偏差を算出し、このチャンネル内の各ドットの信号強度値について、移動平均値からのずれ量を移動標準偏差値で正規化することによってチャンネル毎に各ドットの欠陥度を算出する工程と、各チャンネルで算出した欠陥度を統合してTFT基板についてドットを単位とする欠陥度の分布を取得する工程と、欠陥度分布に基づいてTFTアレイの欠陥を検出する工程とを備え、ゲートライン等のTFTアレイの構造に由来する影響による欠陥の誤検出を低減する。
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