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1. WO2010067570 - 走査型プローブ顕微鏡の出力処理方法および走査型プローブ顕微鏡

公開番号 WO/2010/067570
公開日 17.06.2010
国際出願番号 PCT/JP2009/006658
国際出願日 07.12.2009
予備審査請求日 05.10.2010
IPC
G01Q 20/02 2010.01
G物理学
01測定;試験
Q走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
20プローブの動きまたは位置の監視
02光学的手段によるもの
G01Q 60/24 2010.01
G物理学
01測定;試験
Q走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
60特定の型のSPMまたはそのための装置;その基本的な構成部品
24AFMまたはそのための装置,例.AFM用のプローブ
CPC
G01Q 20/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
20Monitoring the movement or position of the probe
02by optical means
出願人
  • 国立大学法人京都大学 KYOTO UNIVERSITY [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 常見英加 TSUNEMI, Eika [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 佐藤宣夫 SATOH, Nobuo [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 小林圭 KOBAYASHI, Kei [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 山田啓文 YAMADA, Hirofumi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 松重和美 MATSUSHIGE, Kazumi [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 常見英加 TSUNEMI, Eika
  • 佐藤宣夫 SATOH, Nobuo
  • 小林圭 KOBAYASHI, Kei
  • 山田啓文 YAMADA, Hirofumi
  • 松重和美 MATSUSHIGE, Kazumi
代理人
  • 楠本高義 KUSUMOTO, Takayoshi
優先権情報
2008-31411310.12.2008JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) METHOD FOR PROCESSING OUTPUT OF SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE, AND SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
(FR) PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE LA SORTIE D'UN MICROSCOPE EN CHAMP PROCHE, ET MICROSCOPE EN CHAMP PROCHE
(JA) 走査型プローブ顕微鏡の出力処理方法および走査型プローブ顕微鏡
要約
(EN)
For a scanning type probe microscope for which a cantilever holding member moves finely up/down, with the conventional optical lever method, it is not possible to extract the amount of deflection (θ) and the amount of fine up/down movement (z) of a cantilever from the measurement output. Incident light (19) radiating from a laser light source (18) is reflected by the upper face of a cantilever (13) and reflected light (19a) enters a light detection means (20). The incident light (19) and the reflected light (19a) are in a plane which does not include the long axis of the cantilever (13). Because the incident light (19) and the reflected light (19a) are in a plane which does not include the long axis of the cantilever (13), displacement of the reflected light (19a) due to the change in the amount of deflection (θ) and the change in the amount of fine up/down movement (z) of the cantilever (13) are in different directions above the light detection means (20). Thus, the change in the amount of deflection (θ) and the change in the amount of fine up/down movement (z) of the cantilever (13) can be extracted from the output of the light detection means (20).
(FR)
L'invention concerne les microscopes en champ proche où un organe de maintien autoporteur monte et descend finement, et vise à remédier à l'impossibilité d'extraire de la sortie de mesure, par le procédé conventionnel à levier optique, l'amplitude de la déflection (θ) et l'amplitude du mouvement ascendant / descendant fin (z) d'un organe autoporteur. Une lumière incidente (19) rayonnant à partir d'une source lumineuse à laser (18) est réfléchie par la face supérieure d'un organe autoporteur (13) et la lumière réfléchie (19a) entre dans un moyen (20) de détection de lumière. En raison du fait que la lumière incidente (19) et la lumière réfléchie (19a) se situent dans un plan qui ne contient pas le grand axe de l'organe autoporteur (13), les déviations de la lumière réfléchie (19a) due à une variation de l'amplitude de la déflection (θ) et à une variation de l'amplitude du mouvement ascendant / descendant fin (z) de l'organe autoporteur (13) ont lieu dans des sens différents au-dessus du moyen (20) de détection de lumière. On parvient ainsi à extraire la variation de l'amplitude de la déflection (θ) et la variation de l'amplitude du mouvement ascendant / descendant fin (z) de l'organe autoporteur (13) de la sortie du moyen (20) de détection de lumière.
(JA)
 【課題】 カンチレバー保持部を上下微動させる走査型プローブ顕微鏡において、従来の光てこ法ではカンチレバーのたわみ量θと上下微動量zを測定出力から切り分けることができなかった。 【解決手段】 レーザー光源18から出射した入射光19はカンチレバー13上面で反射し、反射光19aが光検出手段20に入射する。入射光19と反射光19aは、カンチレバー13の長軸を含まない平面内にある。入射光19と反射光19aがカンチレバー13の長軸を含まない平面内にあるため、カンチレバー13のたわみ量θ変化と上下微動量z変化による反射光19aの移動は、光検出手段20の上で異なる方向となる。これにより、カンチレバー13のたわみ量θ変化と上下微動量z変化を、光検出手段20の出力から切り分けることができる。
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